G300K

GIGANEX系列新产品、下一代微细加工用300W KrF激光器。高输出、高可靠性且可减少COO的机型

G300K
 
KrF激光器“G300K”是加入GIGANEX产品阵容的一款新机型,它将微细等“加工优化”作为理念,在保持高输出、99%以上高开工率的同时,实现了客户ROI的最大化的型号。“G300K”采用累计出货量达900多台的本公司半导体光刻用KrF光源G41K作为基本平台,新开发并搭载了最适合高输出的电源、激光腔室。从而为客户在半导体制造后端工序中下一代微细加工工序,通过提高生产性及减少COO以实现ROI的最大化提供帮助。


主要特点

  1. 高重复频率、高输出功率
    作为加工用KrF激光器,“G300K”实现了唯一的4000Hz高重复频率、300W高输出功率。可以在传统UV激光器无法实现的区域进行各种微细烧蚀加工。
  2. 高开工率
    作为半导体光刻KrF光源,“G300K”保持着具有900多台出货量的G41K的可靠性,实现超过99%的高开工率。
  3. 长寿命
    具有可承受半导体制造光源所培养的生产性的模块寿命,同时拥有较长的维护周期,从而为客户提高成品率并降低维护成本提供帮助。

主要规格*
振荡波长 248 nm
平均输出 75W 300W
脉冲能量 75mJ 75mJ
振荡频率 1000Hz 4000Hz
用途 下一代微细烧蚀加工
(*) 上述各规格值为代表值