GIGANEX Series

GIGANEX-LOGO (Photo)
GIGANEX-RED (Photo)

*将来的机壳示意图。如因本公司的需要而更改,恕不预先通知。

融合了Gigaphoton的GT系列和最新技术的、最尖端的准分子激光机

新生产的GIGANEX集中了以往Gigaphoton在半导体光刻光源——准分子激光机制造中获得的技术和经验,并融合了顾客的技术。我们坚信:作为高性能DUV光源,它在半导体光刻以外的领域也能带来新的革新。

期待的应用领域
FPD制程、柔性器件制程、半导体制程

激光退火用大功率准分子激光机

GIGANEX系列在Gigaphoton的GT平台上设计而成,最大限度追求了通用化,因此有很高的可靠性。另外,它继承了GT的特长——高功率、高起振频率,可以实现更加适合激光退火的设计。

 

高重复型准分子激光机

主要规格*1 450W Type 600W Type
波长 (nm) 193 248 351 193 248 351
平均功率 (W) 450 450 450 600 600 600
脉冲能量 (mJ) 75 75 75 100 100 100
重复频率 (Hz) 6,000 6,000 6,000 6,000 6,000 6,000
脉冲宽度 (ns) 40 - 100 40 - 100 40 - 100 40 - 100 40 - 100 40 - 100
稳定性 σ < 2% < 2% < 2% < 2% < 2% < 2%
模块维护间隔时间 450W Type 600W Type
激光室更换 (Bpls) 60 60 60 60 60 60
反射镜更换 (Bpls) 60 60 60 60 60 60
其他 450W Type 600W Type
激光机主体尺寸 (mm) 2,800 x 825 x 2,120 (WxDxH) 2,800 x 825 x 2,120 (WxDxH)
重量 (kg) 3,410 3,410
演示加工 准备中*2 2017年*3
预定发布 2017年*3 2018年*3

 

高功率低重复型激光机

主要规格*1 600W Type
波长 (nm) 193 248 308 351
平均功率 (W) 600 600 600 600
脉冲能量 (mJ) 1000 1000 1000 1000
重复频率 (Hz) 600 600 600 600
脉冲宽度 (ns) 15 - 20 15 - 20 15 - 20 15 - 20
稳定性 σ < 2% < 2% < 2% < 2%
模块维护间隔时间 600W Type
激光室更换 (Bpls) 6 6 6 6
反射镜更换 (Bpls) 6 6 6 6
其他 600W Type
激光机主体尺寸 (mm) 2,800 x 825 x 2,120 (WxDxH)
重量 (kg) 3,510
演示加工 未定
预定发布 未定

 


  1. 关于主要规格,如因本公司的需要而更改,恕不预先通知。敬请谅解。
  2. 如有兴趣,请咨询本公司工作人员。
  3. 可能根据市场需求、本公司的需要而更改。敬请谅解。