GIGANEX Series

GIGANEX-LOGO (Photo)
GIGANEX-RED (Photo)

*将来的机壳示意图。如因本公司的需要而更改,恕不预先通知。

融合了Gigaphoton的GT系列和最新技术的、最尖端的准分子激光机

新生产的GIGANEX集中了以往Gigaphoton在半导体光刻光源——准分子激光机制造中获得的技术和经验,并融合了顾客的技术。我们坚信:作为高性能DUV光源,它在半导体光刻以外的领域也能带来新的革新。

期待的应用领域
FPD制程、柔性器件制程、半导体制程

大功率准分子激光机

GIGANEX系列在Gigaphoton的GT平台上设计而成,最大限度追求了通用化,因此有很高的可靠性。另外,它继承了GT的特长——高功率、高起振频率,可以实现更高的処理速度。

 

高重复型准分子激光机

模型 G300K GT600K
G300K GT600K
波长 248 nm
最大脉冲能量 75 mJ 100 mJ
最大功率 300 W 600 W
最大重复频率 4 KHz 6 KHz
激光主体尺寸 1975 x 800 x 1950 (mm) 2800 x 820 x 2120 (mm)
重量 1600 kg 3400 kg

 


  1. 关于主要规格,如因本公司的需要而更改,恕不预先通知。敬请谅解。
  2. 如有兴趣,请咨询本公司工作人员。
  3. 可能根据市场需求、本公司的需要而更改。敬请谅解。