维修

GIGAPHOTON 将下列3个项目列为重点,推行客户支持活动。

1. 强化定期预防维修活动

装置要能够“稳定运转”,定期性预防维修活动(即通过平日的监控和诊断,事先发觉问题征兆,防止装置突发性停机)极为重要。

  • GIGAPHOTON 可每日对客户端装置监控运转状况并据以分析,定期向客户提出诊断报告。
  • 此份报告目的不仅是防范装置突发停机,更做出装置运转优化相关提案,以利客户生产性提升。

此外,2001 年起更开发装置远程诊断工具“REDeeM”(Remote Equipment Data Management)作为预防维修活动推进的一环,如今已被多数客户采用。
使用因特网的“REDeeM”,能够实时与客户共享装置运转信息,增强了预防维修及迅速处理问题的效果。

2018年发布开放平台“FABSCAPE™”,可对GIGAPHOTON的激光器和其他公司的半导体制造设备监控运转状况并进行分析,为解决客户的各种生产性问题做出贡献。

2. 提升客服技术

GIGAPHOTON 致力于极度缩短问题发生后的停机时间,以提升运转率。为缩短故障排除及零件更换时间以达到此一目标,我们着眼于包含工程师在内的综合客服技术力进一步提升。

  • 通过网络,GIGAPHOTON 全球服务据点之间共享装置技术信息以及客服技术信息,形成容易进行系统化技术信息积累及最新技术信息全球同步布局的体制。
  • 工程师培训方面,除了最新的ArF和KrF激光课程外,还提供旧机型激光器、故障排除和客户培训等多种课程。

3. 快速化、优化供应零件

为迅速应对客户零件更换需求以及问题发生后的零件更换,更构建并导入了追求全球零件库存优化的系统。

  • 活用REDeeM,根据客户的装置运转状况和模块寿命来预测全球的更换时间。据此可以预测零件供应的长期趋势,并建立最佳的生产体制。
  • 各基地的具体更换计划和库存状况可通过互联网系统实时更新,便于小山总公司掌握。从而实现及时的零件供应。