远程装置数据管理(REDeeM)的有效利用

GIGAPHOTON 从当时仍为小松制作所的 1998 年起,便已着手开发应用因特网的 Open-net diagnostics tool 远程诊断装置。该系统于 2001 年春完成,命名为 REDeeM,并获许多半导体大厂引进。
GIGAPHOTON 激光装置达到 99.7 %以上的超高运转率。然而,缩短停机时间、问题发生时应短时间修复等来自客户进一步的需求,从未间断。REDeeM 能针对前述要求发挥PM(preventive maintenance:预防维修)及事故诊断能力,是极为有效的客服工具。

REDeeM 具有下列 2 大功能。

  • Online PM Report:可几近实时掌握激光共振腔等主要组件的中长期运转状况,具有预防维修的效果。

  • Event trigger report(事件触发报告): 当问题发生时,立即以邮件通知使用者、FSE,加速停机后的响应。

导入 REDeeM 的效果

  • 提升现场服务响应
    导入REDeeM的客户,通过半导体制造商、曝光机制造商以及 GIGAPHOTON 的 FSE、开发工程师迅速共享相同信息,可以做到快速响应。
  • 大幅减轻装置管理负担
    安装台数较多的客户能在WEB上集中管理激光装置运转状况,因而减轻工程师肩负的管理重担。
  • 减低运营成本
    装置管理简便化后,能轻松进行复数装置的优化运转管理,多数客户因而达成减低运营成本的结果。