2. 液晶制造用激光退火的课题

4K/8K制造工艺的课题

液晶面板的分辨率正在逐年改善,适用于小型中型面板。但是,在大型面板上,如何以更高的分辨率低成本地制造仍然是课题。
预计4K/8K的面板将在2020年以前销售,但大型化和低成本化仍是课题。

大面积的准分子激光退火(ELA)难以进行?

在目前的激光退火技术中,用激光束形成直线形状(线光束)将材料表面退火是主流。用这种方式退火Gen8.5以上的面板时,线光束的光学透镜直径需要在1.5m以上,很难形成均匀的光束。
另一方面,激光的脉冲能量要求有1J~2J左右的高能量。但是,以准分子激光技术,每1脉冲的高能量化和高重复化是难以兼顾的,因此提高能量吞吐有极限。另外,以这种方式难以用1次扫描退火Gen10材料,要制造120英寸以上的面板,需要研讨别的方法。

极小面积激光退火方式(MLA)

这种激光退火方式是无论面板尺寸多大都能进行加工的唯一方式。但是,要提高退火装置的能量吞吐,兼顾激光脉冲的高能量化和高重复化要求是必不可少的。