显示面板的激光退火

液晶显示原理

 

液晶显示器由纵横排列的像素汇集而成,绘制1幅图像。通过每秒多次重写图像,形成视频。
重写图像时需要反复控制子像素中TFT的On/Off。

  • TFT的切换速度越快,视频响应越快。
  • 像素越小越多,图像的分辨率越高。

 

激光退火的效果

 

以往驱动像素的TFT所使用的非晶硅(a-Si)具有难以导电的特性,但是当a-Si通过照射激光进行退火后,硅会熔融并重新结晶(多晶),形成易于导电的多晶硅(p-Si)。通过激光退火,可改善TFT的电气特性。以往是在炉内高温加热a-Si,改质成多晶硅(p-Si)。但是,除了TFT之外,还有基板受热影响、加热花费时间过多等课题。激光退火可以快速加热和冷却照射部,解决了炉内高温加热存在的课题。

 

激光退火法的特色

 

随着电视机屏幕尺寸的增加,批量生产的显示基板的尺寸也日益增大。以往的激光退火方法受到透镜尺寸的制约,导致可以退火的显示器基板的尺寸存在限制。Gigaphoton与退火设备制造商正在共同开发一种旨在实现不受限于显示器尺寸的退火技术。