2. 准分子激光是什么

准分子激光(Excimer Laser)是激光介质使用稀有气体或卤素等混合气体的紫外线(UV)激光,代表例子有ArF准分子激光(波长193nm)、KrF准分子激光(波长248nm)、XeCl准分子激光(波长308nm)、XeF准分子激光(波长351nm)。
准分子激光作为紫外区的激光,例外地具有能高效激发、装置比较小型的特点,在工业、医疗(LASIK等激光近视矫正手术)等各种领域中得到应用。

准分子激光应用实例
准分子激光发出的紫外光所具有的非常高的光子能量和峰值功率有着很大的吸引力,人们正在各种工业领域中进行着应用研究,看能否利用这种强光。例如在CO2激光或YAG激光无法对应的材料上打标、高分子薄膜或半导体薄膜等的烧孔加工、特氟龙等树脂的表面改质、掺杂及沉积等半导体制造工艺的应用、TSV孔加工技术等。
其中最成功的一例是半导体制造平版印刷用的光源。详情参考这里。
近年来,随着液晶的高精细化,液晶制造用激光退火技术受到了人们关注。它已成为低温多晶硅(LTPS=Low Temperature Poly-silicon)制造工艺中不可缺少的一环。