2. 准分子激光是什么

一种以稀有气体和卤素气体的混合气体为介质,主要通过脉冲放电激发的气体激光。代表例子有能够以强光强度发射深紫外(DUV)光的氩氟(ArF)准分子激光(波长193nm)、氪氟(KrF)准分子激光(波长248nm)、其他XeCl准分子激光(波长308nm)、XeF准分子激光(波长351nm)。

准分子激光作为紫外线区的激光,却非常特殊地具有能高效激发、装置比较小型的特点,适合用作需要高分辨率的尖端半导体曝光设备的光源。也被应用于工业、医疗(LASIK等激光近视矫正手术)等各种领域中。

 
准分子激光器在工业领域的应用实例

准分子激光发出的紫外光所具有的非常高的光子能量和峰值功率有着很大的吸引力,人们正在各种工业领域中进行着应用研究,看能否利用这种强光。例如在CO2激光或YAG激光无法对应的材料上打标、高分子薄膜或半导体薄膜等的烧孔加工、特氟龙等树脂的表面改质、掺杂及沉积等半导体制造工艺的应用、TSV孔加工技术等。
(最成功的例子之一是GIGAPHOTON制造的用于半导体制造曝光的光源。)

近年来,随着液晶的高精细化,液晶制造用激光退火技术受到了人们关注。它已成为低温多晶硅(LTPS=Low Temperature Poly-silicon)制造工艺中不可缺少的一环。