FAQ

關於 GIGAPHOTON

公司何時創設?

2000 年 8 月 1 日。

除總公司外,有沒有其他事業、海外據點?

包含平塚事業所在內,國內外有眾多服務據點。詳情情點擊此處

公司資本額是?

50 億圓日幣。

有哪些股東?

株式會社小松製作所(100%出資)

目前還在徵才嗎?

社我們會視需要徵才。

公司名稱的由來是?

代表了因應 Gigabit 時代的光子(Photon)。

公司標誌蘊含的訊息(意義)是?

頭文字的G,代表著「成長」。

想瞭解創設公司的背景。

曝光用準分子雷射裝置市場競爭日烈,為了整合日本國內準分子雷射裝置技術以強化商品力及顧客服務,小松製作所與優志旺電機合併準分子雷射事業,創設合資公司 GIGAPHOTON(株)。(合資合同於2011年解散,GIGAPHOTON目前是小松製作所的全資子公司。)

我們如何索取產品手冊或報價?

若您有實際裝置操作參觀的需求,請洽詢本公司營業窗口(日本國內 0285-28-8415、海外+81-285-28-8415,或是Contact Us

 

關於產品

什麼製程上會用到它?

半導體生產的微影製程。此外,準分子激光器也被應用於其他領域。

公司的主力產品是?

用於半導體光刻工具的準分子激光器的主要產品有以下系列。

  • 4 kHz KrF準分子激光器 “G40K” 系列
  • 4 KHz ArF準分子激光器 “GT40A” 系列
  • 6 KHz ArF準分子激光器 “GT60A” 系列

誰是您產品的主要用戶?

我們以OEM為基礎向每個主要的光刻工具製造商(尼康,佳能,ASML)提供受激準分子激光單元,並為半導體製造商提供零件服務支持。

產品是在哪裡進行研發?

產品研發是在 GIGAPHOTON 小山總公司進行,而平塚事業所則進行未來技術(EUV 光源)的研發工作。

GIGAPHOTON 公司的產品優點有哪些?

準分子雷射的更換用零件(模組)非常昂貴,零件價格就佔去了曝光裝置整體經常成本的大部分比例。GIGAPHOTON 的的更換用零件以長壽著名,延長更換間隔能夠對使用者經常成本有所助益。
對於目前微積體回路圖樣上的孤立線(Isolated line)與細密圖樣(Dense pattern)的 CD 精度問題(ISO-DENSE-BIAS)造成巨幅影響,因而成為微影業界注目焦點的「E95」穩定性方面,GIGAPHOTON 在技術上也遙遙領先其他公司。
準分子雷射乃是為了與半導體製造關鍵之曝光裝置連接使用,需要高度可靠性。GIGAPHOTON 的雷射裝置一貫品質生產,能達到高稼動率,有助縮短使用者端的停機時間。
如何購買貴公司的產品?

  • 作為GIGAPHOTON的核心技術,我們擁有半導體光刻工具的準分子激光器所需的能量穩定技術和光譜帶寬控制技術。
  • 準分子雷射的更換用零件(模組)非常昂貴,零件價格就佔去了曝光裝置整體經常成本的大部分比例。GIGAPHOTON 的的更換用零件以長壽著名,延長更換間隔能夠對使用者經常成本有所助益。
  • 準分子雷射乃是為了與半導體製造關鍵之曝光裝置連接使用,需要高度可靠性。GIGAPHOTON 的雷射裝置一貫品質生產,能達到高稼動率,有助縮短使用者端的停機時間。

貴公司是否有產品租賃業務?

不,我們不從事產品租賃業務。

目前使用的裝置於新購時可否折讓?

關於裝置折讓等業務,請洽詢搭載本公司雷射裝置的曝光裝置製造商。

能否參觀裝置的實際操作情況?

若您有實際裝置操作參觀的需求,請洽詢本公司營業窗口(日本國內 0285-28-8415、海外+81-285-28-8415,或是Contact Us

 

關於客戶支援

想瞭解貴公司對製品進廠、安裝、啟動、定期維護、修理等的支援體制。

  • 產品的進廠、安裝均由貴客戶進行(我們會為您準備安裝手冊)。
  • 啟動部分,則由曝光裝置製造商進行包含曝光裝置的啟動。
  • 定期維護、修理由 GIGAPHOTON 的現場服務人員執行。

有沒有客戶支援專屬窗口?

各客戶支援據點的聯絡方式,請點擊此處參照。

您的客戶支持工作時間是什麼時候?

僅為平日的 9:00am~5:00pm 時段服務(週末、例假日、新年假期則暫停服務)。
此外,我們也可因應客戶需求進行特殊支援。詳情請洽詢本公司營業窗口(日本國內 0285-28-8415、海外+81-285-28-8415,或是Contact Us

是否會為使用者進行訓練?

我們備有操作人員訓練、指導技師訓練等課程。

有沒有相關手冊?

  • 會對導入裝置的使用者提供雷射裝置的操作手冊。
  • 接受訓練的使用者,將獲得燒錄於 CD 光碟的訓練手冊。

使用者如果喬遷至海外他國,是否會繼續進行支援?

客戶若要喬遷至海外,煩請事先與曝光裝置製造商以及本公司營業窗口聯繫。

REDeeM 是什麼樣的產品?

「REDeem」(遠端裝置資料管理,Remote Equipment Data Management)是利用網際網路的準分子雷射遠端監控系統,讓顧客或曝光裝置製造商能夠低廉(導入/運用成本)、簡便(操作性)、安全(資安安全性)共享雷射裝置稼動資訊,強而有力支援雷射維修管理的工具。以往,半導體製造商採取將裝置等資料保管於自身公司內的封閉管理體制;REDeeM 則將裝置資料透過網際網路保管於資安維護周全的外部伺服器內,是一項開放而劃世紀的系統。

使用者導入 REDeeM,會有哪些好處?

導入REDeeM的客戶,與半導體製造商、曝光機製造商以及 GIGAPHOTON 的 FSE、開發工程師迅速共享相同資訊,飛躍提升服務回應性。
此外,對於安裝台數較多的使用者而言,不僅能減輕工程師的管理負擔,更能輕鬆實現複數台裝置最佳化運轉管理,結果而言有助於實際成本的削減。