FAQ

關於 GIGAPHOTON

公司何時創設?

2000 年 8 月 1 日。

總公司所在地是?

〒323-8558 栃木縣小山市橫倉新田400。

除總公司外,有沒有其他事業、海外據點?

包含平塚事業所在內,國內外有眾多服務據點。詳情情點擊此處

公司資本額是?

50 億圓日幣。

有哪些股東?

株式會社小松製作所(100%出資)

員工有多少?

514 名(至 2013 年 4 月 1 日止)

目前還在徵才嗎?

我們會視需要徵才。

公司名稱的由來是?

代表了因應 Gigabit 時代的光子(Photon)。

公司標誌蘊含的訊息(意義)是?

頭文字的G,代表著「成長」。

想瞭解創設公司的背景。

曝光用準分子雷射裝置市場競爭日烈,為了整合日本國內準分子雷射裝置技術以強化商品力及顧客服務,小松製作所與優志旺電機合併準分子雷射事業,創設合資公司 GIGAPHOTON(株)。

公司的主要業務是?

研發、生產、銷售半導體曝光裝置用準分子雷射光源,並提供服務。

GIGAPHOTON 的核心技術是?

GIGAPHOTON 以曝光裝置光源用準分子雷射要求之能量穩定化技術以及頻譜窄頻寬化技術為核心:

  1. 能量穩定化技術
    KrF、ArF 準分子雷射要以高達千赫次的複現頻率發射脈衝,並且達到長期高度能量穩定之特性,需要能實現雷射共振腔內穩定脈衝放電的充放電技術。
    GIGAPHOTON 針對可實現高達千赫次之複現頻率的脈衝電源技術,以及可進行長壽、穩定之脈衝放電的放電技術,正在進行世界級的研發工程。
  2. 頻譜窄頻寬化技術
    準分子雷射光束的頻譜頻寬原本很廣,在曝光裝置上的成像性並不佳,故需要利用光柵(繞射光柵)的窄頻寬化技術,使能維持高度光強度,並可發射稱為 Sub pm 之極窄頻寬 DUV 光束,達成曝光裝置光學系統的要求性能。GIGAPHOTON 的窄頻寬化技術,在絕對性能、長期穩定性上均為世界頂尖水準。

而生產高品質雷射的技術,才是最重要的核心技術。 GIGAPHOTON 生產高品質準分子雷射,使用者給予我們極高度的肯定。今後亦將以全球頂級品質為目標,持續進行研發、製造、服務的品質提升活動。

公司的主力產品是?

GIGAPHOTON 在各世代曝光裝置光源用準分子雷射上均有相關產品推出。
4 kHz KrF 準分子雷射「G40K」系列、4 KHz ArF 準分子雷射「GT40A」系列,以及 6 KHz ArF 準分子雷射「GT60A」系列則為目前的主力產品。

GIGAPHOTON 的客戶是?

半導體曝光裝置製造商以及元件製造商。

想知道貴公司最近一期的業績(銷售實績)。

請洽詢本公司業務窗口。
國內: 0285-28-8415
海外: +81-285-28-8415 或 Contact Us

想知道產品的市佔率。

除在亞洲市場獲得 50% 的高市佔率外,歐美方面近年也有近 40% 的市佔率斬獲。

國內與海外的營銷比是?

以 2011 年實績來說,海外與國內是 7:3。

想知道申請「GIGAPHOTON」相關資料的方法。

除了在網站上提供產品型錄下載外,也可透過諮詢表格受理申請。

關於產品

GIGAPHOTON 經手的產品是?

半導體曝光裝置用準分子雷射光源(主機、零件)。

什麼是準分子雷射?

以鈍氣與滷素氣體混合氣為介質,多以脈衝放電激發的氣體雷射。氪氟(KrF)、氬氟(ArF)準分子雷射可發射波長分別為 248 nm、193 nm 的強光度深紫外線(DUV)光,用來作為需要高解析的最先進半導體曝光裝置光源。
準分子雷射光束的頻譜頻寬原本很廣,在曝光裝置上的成像性並不佳,故需要利用光柵(繞射光柵)的窄頻寬化技術,使能維持高度光強度,並可發射稱為 Sub pm 之極窄頻寬 DUV 光束,達成曝光裝置光學系統的要求性能。

什麼是注入鎖定技術?

注入鎖定技術,是以主動震盪器(Master Oscillator)低功率激發極窄頻譜的雷射光,當該光束注入功率振盪器(Power Oscillator)增幅後,可得窄頻寬高輸出雷射光束的技術。

有哪些主要市場與使用者?

半導體生產裝置市場(微影)。市場結構可分兩種。

  • OEM 供應準分子雷射主機給曝光裝置製造商(尼康、佳能、ASML)。
  • 使用者: 準分子雷射的使用者,是安裝了曝光裝置的半導體製造商(以「使用者」代稱之)。

什麼製程上會用到它?

半導體生產的微影製程。

產品是在哪裡進行研發?

產品研發是在 GIGAPHOTON 小山總公司進行,而平塚事業所則進行未來技術(EUV 光源)的研發工作。

產品名稱中的縮寫「G」,是什麼意義?

代表了因應 Gigabit 時代「G」。

G 產品系列是什麼時候開始問世?

G 系列的先驅機種,是 1993 年小松製作所時代推出的「G6」系列。

G 產品系列的最新機種是?

G41K-1H(KrF, 4 kHz)以及GT64A(ArF, 6 kHz)為目前最新系列產品。

G 產品系列的價位如何?

恕難奉告。

G 產品系列有無競爭產品?

Cymer 公司的 ELS 系列、XLA 系列、XLR 系列可謂競爭對手。

GIGAPHOTON 公司的產品優點有哪些?

  • 準分子雷射的更換用零件(模組)非常昂貴,零件價格就佔去了曝光裝置整體經常成本的大部分比例。GIGAPHOTON 的的更換用零件以長壽著名,延長更換間隔能夠對使用者經常成本有所助益。
  • 對於目前微積體回路圖樣上的孤立線(Isolated line)與細密圖樣(Dense pattern)的 CD 精度問題(ISO-DENSE-BIAS)造成巨幅影響,因而成為微影業界注目焦點的「E95」穩定性方面,GIGAPHOTON 在技術上也遙遙領先其他公司。
  • 準分子雷射乃是為了與半導體製造關鍵之曝光裝置連接使用,需要高度可靠性。GIGAPHOTON 的雷射裝置一貫品質生產,能達到高稼動率,有助縮短使用者端的停機時間。

如何購買貴公司的產品?

我們僅對曝光裝置製造商進行 OEM 供貨,並不對一般客戶直接銷售產品。

想知道什麼是經常成本。

GIGAPHOTON 的雷射裝置的經常成本,採用以下兩種方式計算:以使用者的使用脈衝數計費的「脈衝費用契約」,或計算期望壽命以保證作業成本(CoO:Cost of Operation)的「分配契約」。

〈脈衝費用契約概述〉
無是否更換零件,根據客戶使用脈衝數計價收費的契約。使用者定期根據脈衝數支付對價,能夠穩定管理作業成本(CoO)。

〈分配契約概述〉
當雷射脈衝使用超過保用年限(warranty life)但未達期望壽命(expected life),如於此時更換零件,將按比例扣除該時間點未達成的脈衝數並減價計算費用的契約。結果而言,使用者能夠因此確保每一脈衝的作業成本(CoO)。

有關經常成本詳情,請洽詢本公司營業窗口。
日本國內: 0285-28-8415
海外:+81-285-28-8415

貴公司是否有產品租賃業務?

僅有曝光裝置製造商買斷產品的業務,未進行設備租賃。

目前使用的裝置於新購時可否折讓?

關於裝置折讓等業務,請洽詢搭載本公司雷射裝置的曝光裝置製造商。

改購貴公司產品時,有沒有優惠專案?

本公司並未舉辦任何優惠專案。

想請貴公司報價。

若您有任何報價等方面的需求,請洽詢本公司營業窗口(日本國內: 0285-28-8415、海外+81-285-28-8415,或是Contact Us)。

希望取得詳盡產品資料以進行評估。

若您有產品資料的需求,請洽詢本公司營業窗口(日本國內: 0285-28-8415、海外+81-285-28-8415,或是Contact Us)。

能否參觀裝置的實際操作情況?

若您有實際裝置操作參觀的需求,請洽詢本公司營業窗口(日本國內 0285-28-8415、海外+81-285-28-8415,或是Contact Us)。

REDeeM 是什麼樣的產品?

「REDeem」(遠端裝置資料管理,Remote Equipment Data Management)是利用網際網路的準分子雷射遠端監控系統,讓顧客或曝光裝置製造商能夠低廉(導入/運用成本)、簡便(操作性)、安全(資安安全性)共享雷射裝置稼動資訊,強而有力支援雷射維修管理的工具。以往,半導體製造商採取將裝置等資料保管於自身公司內的封閉管理體制;REDeeM 則將裝置資料透過網際網路保管於資安維護周全的外部伺服器內,是一項開放而劃世紀的系統。

使用者導入 REDeeM,會有哪些好處?

導入REDeeM的客戶,與半導體製造商、曝光機製造商以及 GIGAPHOTON 的 FSE、開發工程師迅速共享相同資訊,飛躍提升服務回應性。
此外,對於安裝台數較多的使用者而言,不僅能減輕工程師的管理負擔,更能輕鬆實現複數台裝置最佳化運轉管理,結果而言有助於實際成本的削減。

REDeeM 的稼動條件是?

REDeeM 由集中管理裝置資料及應用程式的伺服器主機、對伺服器發佈資訊的雷射裝置單元、可瀏覽裝置狀態的用戶端單元等三大部分構成。

各部分雖透過網際網路連結,但以 HTTPS 通訊協定貫穿整個系統,以求實現通訊線路加密化,保障資料安全。

客戶支援

想瞭解貴公司對製品進廠、安裝、啟動、定期維護、修理等的支援體制。

  • 產品的進廠、安裝均由貴客戶進行(我們會為您準備安裝手冊)。
  • 啟動部分,則由曝光裝置製造商進行包含曝光裝置的啟動。
  • 定期維護、修理由 GIGAPHOTON 的現場服務人員執行。

有沒有客戶支援專屬窗口?

本公司在全球客戶工廠的附近均開設了服務據點。各客戶支援據點的聯絡方式,請點擊此處參照。

客戶支援是否全年無休?

僅為平日的 9:00am~5:00pm 時段服務(週末、例假日、新年假期則暫停服務)。此外,我們也可因應客戶需求進行特殊支援。詳情請洽詢本公司營業窗口(日本國內 0285-28-8415、海外 +81-285-28-8420)。

是否會為使用者進行訓練?

我們備有操作人員訓練、指導技師訓練等課程。

本地與異地訓練的不同處是?

訓練的實施地點與課程內容不盡相同。

  • 本地訓練是以客戶工廠產線實際安裝的雷射裝置進行訓練;
  • 異地訓練則在 GIGAPHOTON 小山訓練中心接受講習與實機訓練。

有沒有相關手冊?

  • 會對導入裝置的使用者提供雷射裝置的操作手冊。
  • 接受訓練的使用者,將獲得燒錄於 CD 光碟的訓練手冊。

使用者如果喬遷至海外他國,是否會繼續進行支援?

客戶若要喬遷至海外,煩請事先與曝光裝置製造商以及本公司營業窗口聯繫。