領袖專訪: 溝口 計

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董事副總經理 技術總監
溝口 計

[Q] 由技術觀點角度,您認為 GIGAPHOTON 今後最急需的是?

最急需的當然是可正常運轉的 HVM(量產)用 EUV 光源。但是像中層的其他各層用 ArF 雷射,我想也會持續研製。如此一來,ArF 雷射需要進一步的更新以及提升商品競爭力。我們希望藉此在 EUV、Deep EUV 兩方面拿下全球第一。

[Q] 今後 GIGAPHOTON 面臨的最大挑戰為何?

GIGAPHOTON 是以準分子雷射技術起家,要想歷經多年後依然穩居全球龍頭,或是不斷朝第一寶座衝刺,就要看人才了。人才要教育,優秀人才要能聘用,讓 GIGAPHOTON 成為優秀人才趨之若鶩的公司。到目前為止,公司主要由創業以來的人才們領軍發展,但為了今後的永續發展,公司必須持續讓新世代工程師能揮灑能力。這些,也就是挑戰吧。

再來就是資訊。公司無論對內對外,應維持穩健的網絡外。譬如:以往多是與國內大學進行合作,今後也要與海外研究機構、其他公司/業界持續合作。我們並不是全能,專精的技術當然在公司內精益求精,但不甚擅長的技術就要借重其他公司/業界的力量。當然也不是不考慮從零開始的方法,但這樣會來不及。總之就是以最快的腳步持續挑戰全球第一的目標。

[Q] 次世代半導體製造技術雖有多種選擇,您認為今後技術朝向的方向性會在何處?

截至目前,技術隨著時代而切換不已,而今後我認為將是多種技術並存的時代。當然現在已經是這樣的狀況,但今後將越來越明顯。然後呢,半導體元件的種類也越來越多,將由比以往更廣泛的元件形成半導體的需求基準。以前是以 PC 為中心,目前則是智慧手機、平板電腦等裝置爆發性的擴散。今後可能會有更多方面的發展。

[Q] GIGAPHOTON 希望在其中發展何種技術?

首先要在微影坦途打一場勝仗。微影是我們的一個重要商務,也是支撐業界的一項關鍵科技。主力自然要善加經營。坦途自然要光明正大走,但也不光是走著,還要看清目前是小眾卻可能有日後發展潛力的事物並加以吸收。希望能有更大的企圖心。

[Q] GIGAPHOTON 擁有技術的最大強項是?

溝口計

GIGAPHOTON 對於獨特的構思會及早吸收。光是這樣,其他創新企業也能辦到,但我們更有將吸收的構思打造成技術的韌性。此外,一旦發現行不通就立即改變的轉換速度。最大的強項就是這三項吧。

目前的 EUV 雖是以二氧化碳雷射與微液滴冷卻的形式構成,但一開始並非如此,實際是在 2002 年起至 2007 年止約 5 年時間試遍各種方法後,才獲得這個結果。準分子雷射也是到了 1998 年左右才形成目前的方式。在此之前,我們是有方法就試試看,找出最佳的結果,才形成現在的成果。結果來說,所謂的獨特方法,重點在於遇到沒有人做的方法就試看看,而且要用別人的 3、4 倍速度嘗試。因為辦到了,所以我們活了下來。GIGAPHOTON 的具體強項,我想就在這裡了。

[Q] 要發揮他人 3、4 倍的速度,要下哪些功夫?

應該是動頭腦吧。在腦海中模擬,一面預測結果一面執行。時間不足以讓我們嘗試所有的方法,但我以為其中先以理智而非經驗考慮事物進行預測,就能以他人未及的新作法提早求出正確答案。

此外,讓技術人員能夠大鳴大放,這點非常重要。雖然難,但是非做不可。要製作世上沒有的東西,集合眾人智慧很重要,傾聽非經驗者的意見也很重要。技術這東西很有趣,累積越多經驗就增加更多知識,卻也受到過去經驗的限制。而前所未有的全新構思常會潛藏在沒有經驗的人們純真的發言當中。我說的就是要活用這方面。就這方面來說,經驗較淺的年輕人亦有其存在價值。

[Q] 接下來,GAPHOTON 最想對客戶宣揚的是?

希望宣揚 GIGAPHOTON 是研發獨家技術完成最佳 HVM 用產品的專業廠商。我深信這樣的精神,即使跨足不同的雷射應用領域,也必將成功。