總經理專訪

微影的進化與 GIGAPHOTON − 渡邊總經理專訪

渡邊總經理

本次我們以公司創立十週年紀念企劃為題,邀請渡邊總經理暢談伴隨微影進化一路走來的公司足跡。經營企劃室的高久擔任本次專訪的訪談人:

準分子雷射的黎明期

渡邊總經理,2010 年 8 月 1 日就是本公司創立十週年的日子,想請總經理以您的親身體驗,談談 GIGAPHOTON 篳路藍縷至今的足跡。

雖然公司的歷史僅僅 10 年,但本公司的技術歷史可溯及更早。企業母體之一的小松製作所早在至今 30 年前的 1980 年代前半,便已著手研發全球第一台準分子雷射作為曝光用光源。1984 年成功研發 90Hz KrF 雷射,並且預計量產。不只有小松製作所認識到從 i 射線轉移為準分子雷射的大幅度技術轉變將成為商機,NEC、東芝、日立等日本大型高科技企業也紛紛投入市場。光是日本國內,就成立了 10 家左右的準分子雷射製造商。

1984 年,也就是 26 年前,準分子雷射在當時並未成為一項成熟的商務。

是的。因此,政府也為了這個領域的商業化以及 ArF 雷射技術的發展的期許,啟動為期 9 年(1986-1994)的國家計畫。

然而,這項計畫的成果並未完全運用到微影用準分子雷射的實用化。

準分子雷射的技術進步了,但 i 射線燈管的改良腳步更快,準分子光源的春天依然還沒降臨。由於研發投資看不到回收可能,原本如雨後春筍般竄出的國內各競爭企業逐漸的撤退。

抉擇與決定

記得 1995 年,最後僅存的小松製作所也曾接獲國家命令撤出這個業界吧。

是的。當時,我所肩負的使命勢將技術與人才重新部署於其他領域。我先對於技術、市場、人才進行不帶先入觀的客觀評估,再從結果考量方案。但是,越調查越發現這項事業是多麼前途光明。明明是要來規劃解散這個集團,卻讓我感到終止這個計畫是一項錯誤。而且我堅信,現在才正是積極投資讓這項商機浮上檯面的大好時機。

當時的總經理如何遊說公司呢?

因為開始想著與公司要求完全不同方向的方案,心裡已經有最壞的打算。政府決議終止的案子要加以翻案,需要有綿密的市場分析技術優越性的明證,加上從事者絕不放棄的決心。如果不能滿足這三項條件,就無法成功翻案。

聽說總經理在接觸準分子雷射之前,就是公司內扶植新事業經驗最豐富的一位。

是的。當然不僅僅都是成功,失敗的經驗也不少,但也不諱言因而學到排除失敗因素的關鍵技術與經驗。

專訪

向可信之人徵求意見 − 促成決定的兩個人

遇事不決時,總經理應該會向可信之人徵詢意見。實際上當時又是如何?

當時有兩位人士令我難忘。一位是立場上應該接受我查核的實際專案領導人--溝口計博士,另一位則是當時日立中央研究所的微影權威,也是全球知名的岡崎信次博士。

溝口博士有天約我外出吃飯,希望單獨聊一聊。他對我說,「某有名大學開出教授的籌碼,要求我盡快做出回覆。但是說真的,我希望從事扶植準分子雷射商務的工作。為了扶植準分子的商務,希望能再給我最後一次機會。我絕不放棄,直到成功為止。」他非常認真的對著我說。當時我沒有立刻做出回覆,但心裡確認到前述三項條件已經完成了一項。實際上,我被集團內仍能維持如此高的節操給嚇到了。

而準分子光源時代究竟會不會到來,也面臨抉擇的最重要關鍵。到最後,我向足以信賴的人士,也就是岡崎博士請教意見。他說,「日本最早開發準分子雷射的是小松製作所,而且努力貫徹方針到了最後。犧牲雖然不小,但日本能製造光源用雷射的也只剩下小松製作所一家。要是就此撤退,將成為全世界的笑柄。i 射線明顯存在技術極限,搞不好明天就要換準分子雷射商務上場呢。」就這樣,他推了我一把。

由話中可以想像當時的總經理心情有多高興呢。 這麼一來,第一項條件「綿密的市場分析」也已經滿足囉。

我真的很高興岡崎博士提出的建言,到現在仍讓我感激不盡。

以身為生產技術者的經驗向世間求證

然後是最後的關卡--「技術優越性的明證」囉。這方面總經理您是如何因應呢?

我主張了自己的意見。雖然我沒有評估雷射本身優越性的能力,但在國內激烈的競爭市場中能夠存活,足以評價其技術面的優越性。

這麼說來,您判斷與其他製造商的競爭並不成問題囉?

是的。我確信問題在於由產品經濟性這個價值觀看起來的產品強弱。也就是說,產品經濟性越高,市場滲透速度也越快;反之則別說擴大市場規模,更可能被侷限於限定市場,投資將無法回收。

總經理是生產技術的專家嘛。

是的。身為生產技術者,我親身體驗過當進行生產裝置事業化時,產品可靠性對於競爭力貢獻有多麼重要。幸好,當時我負責的研究本部大柿光司本部長給予諒解與支援,狀況也從谷底攀高,讓當時的總經理安崎曉先生在最後批示核可了轉換方針。當時雖然還是小松製作所的時代,卻毋庸置疑是催生 GIGAPHOTON 的一大轉捩點。

當時,要是沒有溝口博士的強烈信念,沒有岡崎博士在後面推了那一把,就沒有現在的 GIGAPHOTON 了吧。有時會回顧過去,思考著歷史上的「假設(if)」情況。

專訪

高可靠度贏得 50% 的全球市佔率

總經理常常提到,巨幅改善產品的可靠度必將促進事業發展,並成為客戶支持的重要因素。

實際準分子雷射商務也是因為以巨幅改善可靠度為條件才得以重新展開,這是真的嗎?1997 年,量產工廠已經落成,卻很快的在當年年底推出經歷嚴苛耐久測試並且合格的 KrF 準分子雷射裝置 G10K。1 年之內連續運轉卻全無故障的雷射裝置,使用者們看在眼裡都不敢相信這樣的性能數字。結果,因為這項可靠度的巨幅改善,讓市場上認識了能夠大幅縮減經常成本並改善故障率,且能在半導體工廠穩定稼動的雷射裝置。之後,這項「高可靠度」一脈相承,自 2000 年 8 月 1 日優志旺電機與小松製作所合資設立 GIGAPHOTON 開始,又經過了 10 年,至今已是 GIGAPHOTON 的代名詞。本公司達成的 50% 全球市佔率,也正是高可靠度的證明。我深信,今後 GIGAPHOTON 將高舉「高可靠度」的大旗,正面積極掌握微影的進化,回應各位使用者的期許。

2010 年 9 月 18 日