Gigaphoton首次將新型準分子雷射器引進FPD業界

推出大型液晶製造設備工廠LTPS(低溫多晶矽)專用準分子雷射器

【栃木縣小山市2016年6月24日消息】(美國商業資訊)--

半導體微影光源的主要生產廠商Gigaphoton株式會社(總公司地址: 栃木縣小山市,董事長兼總經理: 都丸仁)發布消息指出:該公司已經利用可靠性較高的半導體微影用準分子雷射器成功開發了一種GIGANEX系列退火裝置專用的準分子雷射器,該裝置搭載於株式會社V Technology【7717(東證1部)】的微型雷射退火裝置上,用於大型液晶製造設備工廠的LTPS(低溫多晶矽)生產。

近年來,為了將在半導體微影用準分子雷射器領域長期累積的技術應用到其他領域,Gigaphoton一直在推展用於FPD製造領域a-Si(非晶矽)的微型雷射退火工序的準分子雷射器的開發工作,並將開發成功的新型準分子雷射器GIGANEX的試製機提供給面板生產廠商。在2016年5月22-27日於美國舉辦的Display Week 2016上展出了試製面板,引起了巨大轟動。

該GIGANEX系列退火裝置專用的準分子雷射器係V Technology公司生產的裝置的專用機,是作為微型雷射退火工序的光源開發的。微型雷射退火裝置的特點是,導入現有的a-Si面板的製造工序後,使a-Si結晶成p-Si(多晶矽),可以製造8K等規格的高精細面板,這是憑藉以前a-Si製程所不可能實現的。另外,PLAS還適合於採用以往雷射退火工序難以實現的大型面板規格,並且也可以適用於製造的50~70英寸的電視面板的大型液晶製造設備工廠。

Gigaphoton董事長、總經理兼執行長都丸仁先生說:「本公司適用於新領域的準分子雷射器GIGANEX已經在FPD業界登場。能夠為面板生產廠商的LTPS TFT液晶面板的試製成功做出貢獻,我們感到由衷的高興。今後GIGANEX將成為FPD製造領域嶄新的解決方案,我們期待著它能夠為業界做出貢獻。」

關於GIGANEX

新型準分子雷射器GIGANEX是Gigaphoton公司充分利用長期以來在半導體微影用準分子雷射器領域累積的技術實力開發而成,是準分子雷射器的一個新品牌,適用於FPD製造、軟性設備製程及微影以外的半導體製造等領域。該公司將不斷與合作夥伴共同推動創新,探索準分子雷射器更深層次的可能性,並提供GIGANEX的解決方案。

詳情請按:

http://www.gigaphoton.com/ct/products/other/giganex-series

關於Gigaphoton

自2000年成立以來,Gigaphoton作為一家雷射器供應商一直在為全球的半導體生產廠商提供有價值的解決方案。從研發到製造、銷售及維護服務,Gigaphoton承諾時刻站在用戶的角度提供業界最高水準的技術支援。詳細介紹請造訪:www.gigaphoton.com/ct/。

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