Gigaphoton公司新型KrF準分子雷射器 開始在面板廠的量產生產線評估

大型液晶面板製造廠開始計畫在退火製程的光源工程中,評估導入新型KrF準分子雷射器,預估明年夏季進行量產。

栃木縣小山市:2016年12月7日 – 半導體微影光源的主要生產廠商Gigaphoton公司(總公司:栃木縣小山市,董事總經理:都丸仁)宣布,該公司使用半導體微影用準分子雷射器,成功開發出用於退火製程的新型KrF準分子雷射器,並且已經於11月開始在面板廠的量產生產線進行評估。

Gigaphoton將新產品GIGANEX(注釋系列作為公司發展的重要環節,持續充分運用該公司成立以來研發的KrF技術,成功開發出用於退火製程的新型KrF準分子雷射器,並且已經於11月開始在面板廠的量產生產線進行評估。作為開發退火用光源的KrF準分子雷射器,具有600W的高輸出功率,符合高畫質大型面板的嚴苛規格要求,使得國內外面板廠對於本產品寄予了極大的期待。Gigaphoton公司預計於2017年夏季開始量產本產品。

Gigaphoton公司董事總經理都丸仁先生表示:「本公司已將所開發的新型KrF準分子雷射器納入GIGANEX系列的產品陣容,希望可以滿足更多客戶的需求。GIGANEX系列產品今後將會繼續為FPD產業等各種領域提供有價值的解決方案。」

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(注釋GIGANEX相關知識

Gigaphoton公司的新產品系列GIGANEX,是Gigaphoton公司持續不斷累積半導體微影所的先進技術能力,所開發的新型準分子雷射器的總稱。GIGANEX用於FPD生產、軟性設備製程、微影製程以外的半導體相關製程領域。本公司將與合作夥伴攜手合作,共同推動技術革新,進一步探索準分子雷射器的可能應用,不斷地為客戶提供有價值的解決方案。

《詳情请造訪》

http://www.gigaphoton.com/ct/products/other/giganex-series

Gigaphoton公司簡介

Gigaphoton成立於2000年,是一家雷射供應商,自成立以來不斷為全球的半導體生產廠商提供有價值的解決方案。Gigaphoton時刻以客戶導向為中心,從產品研發到生產、銷售及維護,為用戶提供業界最高水準的支援。如需詳細介紹,請造訪:www.gigaphoton.com。

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