Gigaphoton發布新的DUV光源產品規劃藍圖

延長模組壽命、提高服務品質,2020年前打破稼動率99.8%的壁壘

日本栃木縣小山市--(BUSINESS WIRE)-- (美國商業資訊)--半導體微影光源的主要供應商Gigaphoton株式會社(母公司:栃木縣小山市,社長:浦中克己)宣布,為提高設備的稼動率,公司將制定新的產品規劃藍圖,以因應需求量不斷高漲的半導體廠商的要求。

Gigaphoton此次制定的產品規劃藍圖RAM Enhancement加強了DUV光源準分子雷射器的可靠性(Reliability)、可用性(Availability)以及可維護性(Maintainability)。公司已經開始行動,將在2020年前打破被業界定位為極限的「稼動率99.8%的壁壘」。

在半導體晶片生產中,微影製程的稼動率是最大的影響要素。因此,為最大限度地提高設備的稼動率,必須保證「長期穩定的工作」,以及「最短的維護時間」。Gigaphoton為解決這些問題,將延長模組壽命,派遣現場工程師提高設備的服務效能,實現盡可能不停止設備運轉的維護。

首先,為保證「長期穩定的工作」,將最新ArF浸潤式微影裝置的主要模組,包括腔體(AMP CH)、窄頻模組(LNM)、監控模組(MM)的壽命分別延長到120Bpls。其次,為實現「最短的維護時間」,將追加裝置壽命預測及維護時間點的自動計算軟體。 透過這一系列的措施,截止2020年,所有客戶的必要維護次數將降低到每年一次,模組更換時間減少到原來的一半,可望打破稼動率99.8%的壁壘。(假定記憶體晶片廠商的脈衝使用量為每年60Bpls。)

Gigaphoton社長浦中克已評論指出:「由於近年來半導體晶片的需求量高,半導體生產設備的稼動率愈發重要。我們推行的產品規劃RAM Enhancement就是為滿足這樣的客戶需求而制定的。今後,Gigaphoton也將結合客戶需求和市場動向,繼續提供最合適的解決方案。」

Gigaphoton公司簡介

Gigaphoton公司成立於2000年,作為一家雷射器的供應商,自成立以來一直為全球的半導體生產廠商提供有價值的解決方案。Gigaphoton時刻以客戶為中心,從產品研發到生產、銷售及維護,為用戶提供業界最高水準的支援。更為詳細的介紹請您造訪:www.gigaphoton.com

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Source: Gigaphoton Inc.