Gigaphoton研究部技術顧問鈴木章義先生 獲頒「SPIE Frits Zernike Award」獎項,CTO溝口計先生獲選為SPIE會士

2019年2月6日

肯定兩位於業界締造之傑出成績及對於學會的莫大貢獻

栃木縣小山市;2019年2月6日 — 半導體微影光源製造商Gigaphoton Inc.(總公司:栃木縣小山市;總裁:浦中克己)宣布,現任Gigaphoton研究部技術顧問的鈴木章義先生於國際光電工程學會(The International Society for Optics and Photonics:SPIE)獲頒「SPIE Frits Zernike Award in Microlithography」獎項,以及副總裁兼CTO的溝口計先生獲選為SPIE會士的消息。

微影技術最重要的學會 - SPIE在2002年創設Frits Zernike Award獎項,以曾在1953年因位相差顯微鏡榮獲諾貝爾物理學獎,並對微影技術做出莫大貢獻之Zernike博士的名字命名,是一項相當具有權威的獎項,甚至被譽為「微影業界諾貝爾獎」。該獎項僅頒贈給對於業界貢獻超卓的人士,受獎者至今僅14名,鈴木先生則為首位日本籍受獎者。受獎原因為表彰鈴木先生40年以上的職涯,對於接觸式曝光機、1:1掃描器、g線、i線、KrF步進相機、KrF/ArF/浸潤式掃描器、EUV顯影機、NIL等各種從草創期至今之微影裝置的技術革新具有卓越的貢獻。
鈴木先生發表了以下談話:「身為學術團體的SPIE能將此項榮譽頒贈給產業界人士,我認為正是我輩研發之微影技術具備科學性的一面,並且肩負起挑戰性高科技產業一環的最好證明。本人謹對一路共事的各位深表感謝之意。」

而在此同時,Gigaphoton的副總裁兼CTO溝口計先生也獲選為SPIE會士,此頭銜乃是為多年來對於微影技術具有貢獻的人士而設立。溝口先生由於近30年來從事DUV雷射(KrF/ArF/F2)到EUV光源等尖端產品的開發,成果豐碩,並有超過100篇以上的印證論文投稿,能夠獲選可以說是實至名歸,並且是全球第一位獲選為SPIE會士的光源技術者。由於溝口先生的獲選,包含前述的鈴木先生以及OB岡崎信次先生在內,該學會的6名SPIE會士當中已有3名為Gigaphoton的關係人士。
溝口先生發表了以下談話:「本次獲選為SPIE會士,我體認到這不僅僅是因為投稿論文,更是對於將論文敘述的技術與實際產品結合之各位Gigaphoton關係人士的努力的一大肯定。在此,我謹與各位同喜,並再次感謝各位。今後更將專注於推動技術開發及培育後進,必不辜負SPIE會士的盛名。」
 

*2/25 於「SPIE Welcome and Plenary presentations」中進行鈴木先生、溝口先生的頒獎典禮。
*2/28 於「GIGAPHOTON-SPIE Lunch Session」中,由鈴木先生、溝口先生進行演說。
 

         

 <鈴木章義先生>                               <溝口計先生>

 

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