Gigaphoton出貨最新機型KrF光源「G60K」

睽違15年全面改造實現功率提升1.5倍

栃木縣小山市;2020年11月4日,半導體微影光源製造商Gigaphoton株式會社(總公司: 栃木縣小山市;董事長:浦中克己)公佈10月29日已出貨新型KrF用光源「G60K」。

新型KrF用光源「G60K」在進行睽違約15年的全面改造並導入新型電源元件後,成功使得既有機型功率提升約1.5倍達到60W。此外,機身採用兼具擴張性的新型平台,可對應高頻化等KrF光源未來的性能提升需求。

既有KrF光源儘管在輸出功率提升後雖能增加產出,但因模組更換頻率的提高導致停機時間增加,進而造成運作率下降的兩難困境。然而「G60K」採用新技術後,不會增加停機時間即達到相同輸出功率,同時兼具高輸出功率與高產出的目標,最終實現在高曝光層下的最大產出。

Gigaphoton董事長兼CEO浦中克己表示:「Gigaphoton的KrF光源是集結本公司技術及經驗所成就的產品,長期以來深獲顧客極高評價,我相信這次睽違15年重新進行全面改造的G60K,勢必能夠提升現場運作率,進一步提高顧客產能才是。Gigaphoton今後也將持續提供各項具備產能最大化的產品及服務。」

關於GIGAPHOTON

2000年成立以來,GIGAPHOTON作為雷射光源製造供應商,不斷提供具有價值且高度整合方案給全球半導體廠商。GIGAPHOTON從研究開發以至製造・銷售・保修服務的所有環節,將承諾秉持著客戶導向的精神,堅持業界最高水準的技術服務持續邁進。詳細資訊請參閱網站https://www.gigaphoton.com/ct/

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