G41A

支援 100nm 技術節點的 4 kHz ArF 準分子雷射裝置

GT41A

主要特色

  • 全新設計的固體脈衝電源,可發射頻率 4000 Hz 的雷射光,達到 20W 的高產量
  • 繼承 GIGAPHOTON KrF 雷射(G10K/G20K 系列)的高可靠性設計

主要規格*

發射波長 193 nm
平均輸出功率 20 W
脈衝能量 5.0 mj
發射頻率 4,000 Hz
頻譜線寬(FWHM) 0.35 pm
譜頻幅度(以 95 %能量累計,E95) 0.85 pm
(*) 上述各規格值為代表值