G42A

支援 80nm 技術節點的 4 kHz ArF 準分子雷射裝置

GT41A

主要特色

  • 以 G41A 機種為基礎,改良頻譜寬度(半高寬),將 G41A 的 0.35 pm 改進至 0.3 pm,可支援 80nm 設計節點
  • 各模組採用高耐久性零件加長使用壽命,大幅減低 CoO
  • 雷射共振腔:電極處採用高耐久性零件
  • 窄頻寬化模組、監視器模組等:光學零件採用高耐久性材料

主要規格*

發射波長 193 nm
平均輸出功率 20 W
脈衝能量 5.0 mj
發射頻率 4,000 Hz
頻譜線寬(FWHM) 0.3 pm
譜頻幅度(以 95 %能量累計,E95) 0.75 pm
(*) 上述各規格值為代表值