GT45A

引進GT65A之最先進技術,成功達成以高機能擴充性,進一步提升產能(晶圓輸出)

 

GT45A是以最先進ArF液浸用光源GT65A平台為基礎所開發之具備高機能擴充性的機型。
透過配備最新型模組,確保「高運作率」,並使用承襲現有機型GT40A的「無氦技術」,同時達成提升產能及減輕環境負擔。
另外,本機型也具備更高的光譜寬度安定性、可變技術、最高90W的高輸出功率,可應付顧客多樣化的需求。


特色

1. 模組壽命延長
標準配備已在GT65A引進並實證的模組壽命延長技術,成功降低保養維護頻率,並對提升產能做出貢獻。

2. 高機能擴充性
可配備GT65A可使用的各種機能及技術。


主要規格*
發射波長 193 nm
平均輸出功率 45 - 90 W
脈衝能量 11.25 - 15 mJ
發射頻率 4,000 - 6,000 Hz
譜頻幅度(以 95 %能量累計,E95) ≤0.5 pm
(*) 上述各規格值為代表值