GT60A

支援 45nm 或更新技術節點的新產品--6 kHz ArF 準分子雷射裝置

GT60A

GT40A 量產出貨未滿一年,GIGAPHOTON 成功研發大幅提昇輸出功率且發射頻率達 1.5 倍(6,000 Hz)的 GT60A 機種。GT60A 與 GT40A 同採注入鎖定方式,即所謂第二代 GT(GigaTwin)平台。GT40A 已獲得全球各國主要客戶採購,其設計構思、可靠性均獲高度評價。GT60A 的平台設計與 GT40A 系出同門,尋求極限共用化,對使用者而言,從裝置導入起便能期待高度可靠性。


特色

1. 高輸出、高發射頻率
經改良發射頻率可達 4,000 Hz 的 GT40A 機種後,效率大幅提昇,於相同平台達到 6,000 Hz 的發射頻率。如此一來,雖然抑制了每次脈衝所需的能量,輸出功率依然提升了 33% 以上,達到 60W。頻率與輸出大幅獲得改善,但支援曝光裝置解析度的頻譜仍能確保與 GT40A 同等性能。。

2. 可靠性、穩定性
以實績卓越的 GT40A 的平台進行設計,尋求極限共用化,從裝置導入起便能期待高度可靠性,能讓您安心使用。
此外,除了 GT40A 新導入的高階自我診斷功能外,更新增提升裝置有效性(Availability)的參數最佳化功能。可確保包含 GT 系列最大的優勢--模組可交換性在內的服務性,並實現半導體工廠不可或缺的高可靠性、高稼動率。

主要規格*
發射波長 193 nm
平均輸出功率 60 W
脈衝能量 10.0 mj
發射頻率 6,000 Hz
頻譜線寬(FWHM) 0.2 pm
譜頻幅度(以 95 %能量累計,E95) 0.5 pm
(*) 上述各規格值為代表值