G20K

支援 0.18μm 設計規則的 2 kHz ArF 準分子雷射裝置

G20K

G20K 以能量安定性 ±0.4 %、半值振幅 0.6 pm 以下的狹隘頻譜線寬,支援 0.18 μm 節點微影的高解析度。

主要特色

  • 發射頻率由 G10K 的 1000 Hz 改進至 2000 Hz,達到高產量需求
  • 大幅提升雷射發射穩定性與模組耐久性,達到進一步減低 CoO(每次脈衝的經常成本)的目的
  • 筐體精緻化,與 G10K 相較,安裝所需面積縮小 14 %
  • 全新設計的固態脈衝電源模組,減少 20 % 耗電量

主要規格*

發射波長 248 nm
平均輸出功率 20 W
脈衝能量 10.0 mj
發射頻率 2,000 Hz
譜頻幅度(FWHM) 0.6 pm
譜頻幅度(以 95 %能量累計,E95) 2.0 pm
累計能量安定性 0.4 pm
(*) 上述各規格值為代表值