G21K

支援 0.13μm 設計規則的 2 kHz ArF 準分子雷射裝置

G20K

主要特色

  • 進一步提升飽受好評的 G20K 能量安定性
  • 改良窄頻寬化光學系統,實現支援 0.13 µm 技術節點微影製程的超窄頻寬化性能:頻譜半值 0.5 pm

主要規格*

發射波長 248 nm
平均輸出功率 20 W
脈衝能量 10.0 mj
發射頻率 2,000 Hz
譜頻幅度(FWHM) 0.5 pm
譜頻幅度(以 95 %能量累計,E95) 1.4 pm
累計能量安定性 0.35 %
(*) 上述各規格值為代表值