G41K-1H

支援 130nm 以下技術節點的 4 kHz ArF 準分子雷射裝置

G41K-1H

為 4kHz KrF 準分子雷射系列第 2 代機種 G41K 標準加載磁浮雷射共振腔、高效率 LNM、MM 的機種。
高效率進一步提升,達到 40W 的輸出功率。支援需要更高用量的先進曝光製程。光學模組達到 30 百萬脈衝使用壽命長壽化(與本公司 G41K 機種相比約提升 50 %)。
G41K 可藉由現場更換模組升級為 G41K-1H。


主要特色

  • 效率較 G41K 更高,達到 40W 高輸出功率/超低CoO
  • TGM 軟體導入,可延長氣體使用壽命達 100%
  • 市場上稼動的雷射裝置數以百計,具有壓倒性高可靠度

主要規格*

發射波長 248 nm
平均輸出功率 40 W
脈衝能量 10.0 mj
發射頻率 4,000 Hz
譜頻幅度(FWHM) 0.35 pm
譜頻幅度(以 95 %能量累計,E95) 1.1 pm
(*) 上述各規格值為代表值