G45K

支援50W的4kHz KrF準分子雷射


 
4kHz KrF準分子雷射系列的第3代機種G45K,是提升最尖端記憶體晶片(memory chip)生產效率、功率高達50 W的高輸出機種。再者,藉由延長模組壽命和綠能技術(Green technical),同時實現「提升運作率」和「減少對環境的影響」。


特色

1. 高輸出化
輸出功率高達50W,與傳統機種相比多出25%,得以提升最尖端記憶體晶片的產能。

2. 延長模組壽命
將主要模組壽命延長20%,減少因維護設備而產生的停機時間,可望藉此更進一步提高設備運作率。

3. 綠色技術
標準搭載「無氦氣」,將設備運作期間的氦氣用量降至零,並藉由連接氖氣回收系統「hTGM」,降低營運成本和減少對環境的影響。


主要規格*
發射波長 248 nm
平均輸出功率 40 W – 50 W
脈衝能量 10.0 - 12.5 mJ
發射頻率 4,000 Hz
譜頻幅度(FWHM) 0.35 pm
譜頻幅度(以 95 %能量累計,E95) 1.1 pm
(*) 上述各規格值為代表值