G300K

全新GIGANEX系列產品、下一代精細燒蝕加工用300W KrF雷射。高輸出、高可靠且可減低COO的機型

G300K
 
KrF雷射「G300K」是加入GIGANEX產品陣容全新機型,以精細燒蝕等「優化加工」為概念,維持高輸出和99%以上高運行率,同時實現客戶最大投資報酬率 (ROI) 的機型。基本平臺採用本公司累計出貨量超過 900台的半導體微影用KrF光源G41K,配備新開發的優化高輸出電源和雷射共振腔。藉此支援客戶在半導體後段製程中的下一代精細燒蝕加工,透過提高產能和降低COO實現最大ROI。


主要特點

  1. 高重複性、高輸出
    唯一能達成4000Hz高重複性和300W高輸出的加工用KrF雷射。可在傳統UV雷射所無法達成的領域上,進行精細燒蝕加工。
  2. 高運行率
    作為半導體微影KrF光源,在保有900台以上績效的G41K可靠性之下,達到99%以上的高運行率。
  3. 壽命長
    模組壽命可承受半導體製造光源所培養之生產力,而且維護週期長,支援客戶提高成品率和降低維護成本。

主要規格*
振盪波長 248 nm
平均輸出 75W 300W
脈衝能量 75mJ 75mJ
振盪頻率 1000Hz 4000Hz
用途 下一代精細燒蝕加工
(*) 上述各規格值為代表值