* 未來的機殼示意圖。亦可能因本公司因素而在未經預告下變更。
Gigaphoton的GT系列融合新技術，是最尖端的準分子雷射
集結了Gigaphoton至今製造半導體微影用光源準分子雷射所獲得的技術與知識，並融合客戶的技術而重新製作出來的GIGANEX，作為高性能的DUV光源，我們確信，即使是在半導體微影之外的領域，也能產生新的變革。
期望的應用領域
FPD製造程序、可撓性元件製造程序、半導體製造程序
用於雷射退火的高輸出準分子雷射
設計於Gigaphoton的GT平台上，GIGANEX系列講求最大限度的通用化，因此可以指望其高信賴性。此外，也繼承了GT的高輸出、高震盪頻率特性，可以期待它實現最適於雷射退火的設計。
■ 高發射型準分子雷射
| 主規格*1 | 450W Type | 600W Type | ||||
|---|---|---|---|---|---|---|
| 波長 (nm) | 193 | 248 | 351 | 193 | 248 | 351 |
| 平均輸出 (W) | 450 | 450 | 450 | 600 | 600 | 600 |
| 脈衝能量 (mJ) | 75 | 75 | 75 | 100 | 100 | 100 |
| 發射頻率 (Hz) | 6,000 | 6,000 | 6,000 | 6,000 | 6,000 | 6,000 |
| 脈衝寬幅 (ns) | 40 - 100 | 40 - 100 | 40 - 100 | 40 - 100 | 40 - 100 | 40 - 100 |
| 穩定性 σ | < 2% | < 2% | < 2% | < 2% | < 2% | < 2% |
| 模組維護間隔 | 450W Type | 600W Type | ||||
|---|---|---|---|---|---|---|
| 雷射腔更換 (Bpls) | 60 | 60 | 60 | 60 | 60 | 60 |
| 反射鏡更換 (Bpls) | 60 | 60 | 60 | 60 | 60 | 60 |
| 其他 | 450W Type | 600W Type | ||||
|---|---|---|---|---|---|---|
| 雷射主機尺寸 (mm) | 2,800 x 825 x 2,120 (WxDxH) | 2,800 x 825 x 2,120 (WxDxH) | ||||
| 重量 (kg) | 3,410 | 3,410 | ||||
| 示範處理 | 準備中*2 | 2017年*3 | ||||
| 預定發表 | 2017年*3 | 2018年*3 | ||||
■ 高輸出低發射型雷射
| 主規格*1 | 600W Type | |||
|---|---|---|---|---|
| 波長 (nm) | 193 | 248 | 308 | 351 |
| 平均輸出 (W) | 600 | 600 | 600 | 600 |
| 脈衝能量 (mJ) | 1000 | 1000 | 1000 | 1000 |
| 發射頻率 (Hz) | 600 | 600 | 600 | 600 |
| 脈衝寬幅 (ns) | 15 - 20 | 15 - 20 | 15 - 20 | 15 - 20 |
| 穩定性 σ | < 2% | < 2% | < 2% | < 2% |
| 模組維護間隔 | 600W Type | |||
|---|---|---|---|---|
| 雷射腔更換 (Bpls) | 6 | 6 | 6 | 6 |
| 反射鏡更換 (Bpls) | 6 | 6 | 6 | 6 |
| 其他 | 600W Type | |||
|---|---|---|---|---|
| 雷射主機尺寸 (mm) | 2,800 x 825 x 2,120 (WxDxH) | |||
| 重量 (kg) | 3,510 | |||
| 示範處理 | 未定 | |||
| 預定發表 | 未定 | |||
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