GIGANEX Series

GIGANEX-LOGO (Photo)
GIGANEX-RED (Photo)

* 未來的機殼示意圖。亦可能因本公司因素而在未經預告下變更。

Gigaphoton的GT系列融合新技術,是最尖端的準分子雷射

集結了Gigaphoton至今製造半導體微影用光源準分子雷射所獲得的技術與知識,並融合客戶的技術而重新製作出來的GIGANEX,作為高性能的DUV光源,我們確信,即使是在半導體微影之外的領域,也能產生新的變革。

期望的應用領域
FPD製造程序、可撓性元件製造程序、半導體製造程序

高輸出準分子雷射

設計於Gigaphoton的GT平台上,GIGANEX系列講求最大限度的通用化,因此具有高信賴性。此外,也繼承了GT的高輸出、高震盪頻率特性,可以期待它實現更高的処理速度。

 

高發射型準分子雷射

模型 G300K GT600K
G300K GT600K
波長 248 nm
最大脈衝能量 75 mJ 100 mJ
最大功率 300 W 600 W
最大頻率 4 KHz 6 KHz
雷射主機尺寸 1975 x 800 x 1950 (mm) 2800 x 820 x 2120 (mm)
重量 1600 kg 3400 kg

 


  1. 主規格可能因本公司因素而在未經預告下變更。敬請見諒。
  2. 若您有興趣,請聯繫本公司工作人員。
  3. 可能因市場需求或本公司因素而變更。敬請見諒。