顯示面板的激光退火

液晶顯示原理

 

液晶顯示器係以縱橫排列之像素,組成單個圖像,這些圖像在一秒內進行多次色彩變換,即可構成影片。
像素的切換是利用作為亞像素的TFT,反覆進行On/Off,來進行操控。

  • TFT的切換速度越快,就能對應動作越快的影片。
  • 像素的面積越小、數量越多,能夠產生的圖像精細度就越高。

 

激光退火的效果

 

一般用於製作驅動像素使用之TFT的非晶矽(a-Si),雖然在正常狀況下導電性極低,但在利用雷射照射進行溶解及重新結晶(多晶化)的退火處理後,即會變質為導電性良好的多晶矽(p-Si)結晶。也就是說,雷射退火具有能夠提升TFT導電性的效果。過去a-Si皆必須使用爐具高溫加熱來進行p-Si化,然而進行高溫加熱,卻有TFT以外之基板部分易受熱影響變質以及時間花費過久等課題。而雷射退火則因為可以對照射部分進行急速加熱及冷卻,因而解決了用爐具高溫加熱所產生的問題。

 

激光退火法的特色

 

隨著電視畫面尺寸不斷增大,廠商所需量產之顯示器基板尺寸也變得越來越龐大,而一般使用的雷射退火技術,由於受到鏡頭尺寸上的制約,因此可進行退火處理的顯示器基板尺寸,也因此受限。GIGAPHOTON目前正積極與退火裝置廠商進行合作,期望能研發出無尺寸限制之顯示器退火技術。