SPIE Advanced Lithography 2011におけるギガフォトンの発表予定

ギガフォトンは、2月27日(日)~3月3日(木)に開催される「SPIE Advanced Lithography 2011」(会場: 米サンノゼ・コンベンション・センター、サンノゼマリオットホテル)で出展(小間番号119)及び次の論文発表を行います(ギガフォトンが参画しているEUVAの発表も含まれています):

■ プレゼンテーション発表 3月1日(火)、8:00 AM

100W 1st generation laser-produced plasma source system for HVM EUV lithography
Paper 7969-7 
Time: 8:00 AM - 8:20 AM 
Author(s): Hakaru Mizoguchi, EUVA (Japan) and Komatsu Ltd. (Japan); Tamotsu Abe, Yukio Watanabe, EUVA (Japan); Takanobu Ishihara, Takeshi Ohta, Tsukasa Hori, Akihiko Kurosu, Hiroshi Komori, Kouji Kakizaki, Akira Sumitani, Komatsu Ltd. (Japan); Osamu Wakabayashi, Hiroaki Nakarai, Junichi Fujimoto, Akira Endo, EUVA (Japan)

■ポスター発表、3月2日(水)、 6:00 PM

Characterization and optimization of tin particle mitigation and EUV conversion efficiency in a laser-produced plasma EUV light source
Paper 7969-100
Author(s): Tatsuya Yanagida, Komatsu Ltd. (Japan) and EUVA (Japan); Hitoshi Nagano, Komatsu Ltd. (Japan); Takayuki Yabu, Shinji Nagai, Georg Soumagne, Tsukasa Hori, Komatsu Ltd. (Japan) and EUVA (Japan); Kouji Kakizaki, Komatsu Ltd. (Japan); Akira Sumitani, Komatsu Ltd. (Japan) and EUVA (Japan); Junichi Fujimoto, Hakaru Mizoguchi, Gigaphoton Inc. (Japan); Akira Endo, Forschungszentrum Dresden-Rossendorf e.V. (Germany)

Development of the reliable 20-kW class pulsed carbon dioxide laser system for LPP EUV light source
Paper 7969-99
Author(s): Junichi Fujimoto, Takeshi Ohta, Krzysztof M. Nowak, Takashi Suganuma, Hidenobu Kameda, Toshio Yokoduka, Koji Fujitaka, Masato Moriya, Gigaphoton Inc. (Japan); Akira Sumitani, EUVA/Komatsu Ltd. (Japan); Hakaru Mizoguchi, Gigaphoton Inc. (Japan); Akira Endo, Forschungszentrum Dresden-Rossendorf e.V. (Germany)

■プレゼンテーション発表、3月3日(木)、 5:10 PM

Ecology and high-durability injection locked laser with flexible power for double-patterning ArF immersion lithography 
Paper 7973-55
Time: 5:10 PM - 5:30 PM
Author(s): Hiroshi Umeda, Gigaphoton Inc. (Japan)

 

編集者各位:ギガフォトンは、SPIE Advanced Lithography 2011 において、出展を予定しています。ギガフォトン及び同社の技術と製品に関する詳細につきましては、小間番号119 にお立ち寄りください。