「ギガフォトンセミナー」開催

SEMICON JAPAN 2007出展にあわせて、プライベートセミナーを開催します。今回は、「最先端リソグラフィの課題と光源からのソリューション」をテーマに、国外大手デバイスメーカーのトップ技術者の方を講師にお迎えし、リソグラフィ技術の最前線についてお話いただくほか、ギガフォトンがご提案する技術面・製品面でのソリュー ションをご紹介します。

 

日 時 2005年12月7日(金)、15:00~17:00 (17:00~夕食及び歓談)
会 場 幕張東京ベイ幕張「幕張ホール」
テーマ 「最先端リソグラフィの課題と光源からのソリューション」

 

プログラム(同時通訳あり)
15:00-15:15 「開会ごあいさつ」ギガフォトン株式会社 代表取締役社長 渡辺裕司
15:15-15:45 東芝のリソグラフィ戦略と露光光源への要求
株式会社東芝セミコンダクター社、プロセス技術推進センター、
半導体プロセス開発第二部
部長 工学博士 東木達彦
15:45-16:15 EUVの現状
Samsung Electronics Co., Ltd. Semiconductor Business
Senior Engineer
Dr Goo, Doohoon
16:15-16:40 EUV光源の現状
LPP光源開発を中心として光源研究室長
EUVA 住谷明
16:40-17:00 ギガフォトンDUVレーザロードマップ
ギガフォトン株式会社
マーケティング室
井上宏俊
17:00 - 夕食及び歓談

セミナーお問い合わせ
ギガフォトン株式会社 営業本部第一営業部 担当: 松井 優達
TEL: 0285-28-8415 FAX: 0285-28-8439