SEMICON JAPAN 2007出展にあわせて、プライベートセミナーを開催します。今回は、「最先端リソグラフィの課題と光源からのソリューション」をテーマに、国外大手デバイスメーカーのトップ技術者の方を講師にお迎えし、リソグラフィ技術の最前線についてお話いただくほか、ギガフォトンがご提案する技術面・製品面でのソリュー ションをご紹介します。
日 時 | 2005年12月7日(金)、15:00~17:00 (17:00~夕食及び歓談) |
会 場 | 幕張東京ベイ幕張「幕張ホール」 |
テーマ | 「最先端リソグラフィの課題と光源からのソリューション」 |
プログラム(同時通訳あり) | |
15:00-15:15 | 「開会ごあいさつ」ギガフォトン株式会社 代表取締役社長 渡辺裕司 |
15:15-15:45 | 東芝のリソグラフィ戦略と露光光源への要求 株式会社東芝セミコンダクター社、プロセス技術推進センター、 半導体プロセス開発第二部 部長 工学博士 東木達彦 |
15:45-16:15 | EUVの現状 Samsung Electronics Co., Ltd. Semiconductor Business Senior Engineer Dr Goo, Doohoon |
16:15-16:40 | EUV光源の現状 LPP光源開発を中心として光源研究室長 EUVA 住谷明 |
16:40-17:00 | ギガフォトンDUVレーザロードマップ ギガフォトン株式会社 マーケティング室 井上宏俊 |
17:00 - | 夕食及び歓談 |
セミナーお問い合わせ
ギガフォトン株式会社 営業本部第一営業部 担当: 松井 優達
TEL: 0285-28-8415 FAX: 0285-28-8439