FAQ

ギガフォトンについて

会社設立はいつか

2000年8月1日です。

本社所在地は

〒323-8558 栃木県小山市横倉新田400です。

本社以外の事業所・海外拠点はあるか

平塚事業所はじめ、国内外にサービス拠点等多数あります。詳しくはこちらをご覧ください。

資本金は

50億円です。

株主は誰か

株式会社小松製作所 (100%出資)

社員数は

514名(2013年4月1日現在)

社員募集をしているか

社員募集は適宜行っています。

社名の由来

ギガビット時代に対応する光(光子=フォトン)という意味です。

社名ロゴの持つメッセージ(意味)は何か

イニシャルのGが、「成長」をイメージしています。

会社設立の背景を知りたい

露光用エキシマレーザ市場の競争が激化する中、日本のエキシマレーザ技術を統合し、商品力・顧客サポート力を強化すべく、コマツとウシオ電機がエキシマレーザ事業を統合して、合弁会社ギガフォトン(株)が設立されました。

主な事業は何か

半導体露光装置用エキシマレーザ光源の開発・製造・販売・サービスを行っています。

ギガフォトンのコア技術は何か

ギガフォトンは、露光装置光源用エキシマレーザに要求されるエネルギーの安定化技術とスペクトルの狭帯域化実現技術をギガフォトンのコア技術と考えています:

  1. エネルギー安定化技術
    KrF、ArFエキシマレーザをキロヘルツオーダーの高繰り返し周波数でパルス発信させ、かつ長期にわたって高度に安定したエネルギー特性を実現するためには、レーザチャンバ内の安定したパルス放電を実現する充電技術・放電技術が必要です。
    ギガフォトンはキロヘルツオーダーの高繰り返し周波数を可能にするパルス電源技術と長寿命かつ安定したパルス放電を可能にする放電技術について、世界レベルでの研究開発を行っています。
  2. スペクトル狭帯域化技術
    エキシマレーザ光は元来、スペクトル帯域が広い為、露光装置における結像性は良くないのですが、グレーティング(回折格子)を用いた狭帯域化技術により、 高い光強度を維持したまま、サブpmという非常に狭い帯域のDUV光が発振可能となり、露光装置光学系に適した性能が実現しています。ギガフォトンの狭帯 域化技術は、絶対性能・長期安定性において世界でも極めて高いレベルにあります。

そして、高品質なレーザを製造する技術こそが、最も重要なコア技術です。 ギガフォトンは、高品質なエキシマレーザを製造することで、ユーザーから非常に高い評価を頂いています。今後も世界一の品質を目指して、開発・製造・サポートの品質向上活動を行ってまいります。

主力製品は何か

ギガフォトンは、各世代の露光装置光源用エキシマレーザをフルラインナップしています。
4 kHz KrFエキシマレーザ「G40K」シリーズ、4 KHz ArFエキシマ レーザ「GT40A」シリーズ、及び6 KHz ArFエキシマレーザ「GT60A」シリーズが、現在の主力製品です。

ギガフォトンの製品の顧客は

半導体露光装置メーカー及びデバイスメーカーです。

最新の業績(売上実績)を知りたい

弊社営業窓口へお問い合わせください。
国内: 0285-28-8415
海外: +81-285-28-8415 と Contact Us

製品のマーケットシェアを知りたい

アジア市場では、50%の高いマーケットシェアを獲得しているほか、欧米でも近年40%近くのマーケットシェアを獲得しています。

国内・海外の売上比率は

2011年実績で海外・国内は7:3です。

「ギガフォトン」に関する資料請求方法を知りたい

Webサイトから製品カタログのダウンロード提供をしているほか、問い合わせフォームからも受付けています。

製品について

ギガフォトンの取り扱い製品は何か

半導体露光装置用エキシマレーザ光源(本体・部品)です。

エキシマ・レーザとは何か

希ガスとハロゲンガスの混合ガスを媒質とし、主としてパルス放電を用いて励起されるガスレーザです。クリプトン・フッ 素(KrF)、アルゴン・フッ素(ArF)エキシマレーザはそれぞれ波長248 nm、193 nmの深紫外(DUV)光を強い光強度で放出できるため、高度な解像力を必要とする最先端の半導体露光装置の光源として利用されています。
元来、エキシマレーザ光はスペクトル帯域が広い為、露光装置における結像性は良くなかったのですが、グレーティング(回折格子)を用いた狭帯域化技術によ り、高い光強度を維持したまま、サブpmという非常に狭い帯域のDUV光が発振可能となり、露光装置光学系にマッチした性能が実現しています。

インジェクション・ロック技術とは何か

インジェクションロック技術とは、マスターオシレータ(Master Oscillator)で非常に狭いスペクトル幅のレーザ光を低出力で発振させ、その光をパワーオシレータ(Power Oscillator)に注入して増幅することにより、狭いスペクトル帯域でかつ高出力のレーザ光を得る技術です。

主な市場とユーザは誰か

半導体製造装置市場(リソグラフィ)。市場構造は2とおりと考えられます。

  • エキシマレーザ本体は露光装置メーカ(ニコン・キヤノン・ASML)へOEM供給しています。
  • ユーザー: エキシマレーザが使用されるのは、露光装置が設置される半導体メーカー(ユーザーと表記)です。

どのような工程で使用されるか

半導体製造のリソグラフィ工程です。

製品開発はどこで行っているか

ギガフォトン本社(小山)で製品開発を行い、一方平塚事業所で将来技術(EUV光源)開発を行っています。

製品名にあるイニシャル「G」は何か

ギガビット時代に対応するGを表しています。

G製品シリーズはいつ発売されたか

Gシリーズの先駆けは、1993年にコマツで発売された「G6」シリーズです。

G製品シリーズの最新モデルは何か

G41K-1H (KrF, 4 kHz)およびGT64A (ArF, 6 kHz)が最新製品です。

G製品シリーズの価格は

公開しておりません。

G製品シリーズの競合製品はあるか

Cymer社のELSシリーズ、XLAシリーズ、XLRシリーズです。

ギガフォトン社製品の優れている点は何か

  • エキシマレーザは交換部品(モジュール)が非常に高価であり、その部品代が、露光装置全体のランニングコストの大部分を占めます。ギガフォトンの交換部品は長寿命を誇り、交換間隔を長くする事でユーザーのランニングコスト低減に貢献しています。
  • 現在、微細集積回路パターンにおける孤立ライン(Isolated line) と 密集パターン(Dense pattern)でのCD精度の問題 (ISO-DENSE-BIAS)に大きな影響を与えるとしてリソグラフィ業界の注目を集めている「E95」の安定性については、技術的に他社を大きく上 回っています。
  • エキシマレーザは半導体製造のキーとなる露光装置に接続されて使用されるため、高い信頼性が要求されます。ギガフォトンのレーザは徹底した品質の作り込みにより、高稼働率を達成し、ユーザーのダウンタイムの低減に貢献しています。

製品購入方法は

露光装置メーカーへのOEM供給だけであり、一般のお客様へは製品を販売しておりません。

ランニングコストについて知りたい

レーザのランニングコストとして、ギガフォトンでは、ユーザーの使用パルスに応じて課金する「パルス契約」、あるいは推定寿命で計算した運用コスト(CoO:Cost of Operation)を保証する「プロレート契約」を採っています。

<パルス契約の概要>
パーツ交換の有無に関わらず、使用したパルス数に応じた代金を課金する契約です。ユーザーは定期的にパルス数に応じた代金を支払うことで安定した運用コスト(CoO)の管理が出来ます。

<プロレート契約の概要>
保証寿命(warranty life)がパルス以上使用され、推定寿命(expected life)に達しないで交換されたパーツの代金は、交換時に達しないパルス数分を比例計算して値引きを行う契約です。結果としてユーザーには、パルス当た りの運用コスト(CoO)が保証されることになります。

ランニングコストの詳細については弊社営業部窓口へお問合せ下さい。
国内: 0285-28-8415
海外:+81-285-28-8415

製品のリースは行っているか

露光装置メーカーによる購入のみで、リースは行っておりません。

使用中の装置は買い替え時に下取り可能か

装置の下取り等につきましては、弊社レーザ装置を搭載している露光装置のメーカー様へご相談ください。

他社製品からの買い替えキャンペーンはあるか

キャンペーンは行っておりません。

見積がほしい

見積等のご要望につきましては、弊社営業窓口(国内: 0285-28-8415、
海外+81-285-28-8415又はContact Us)へお問合せください。

評価用の詳細な製品資料がほしい

製品資料のご要望につきましては、弊社営業窓口(国内: 0285-28-8415、
海外+81-285-28-8415又はContact Us)へお問合せください。

装置のデモンストレーションを見ることは可能か

デモンストレーションのご要望につきましては、弊社営業窓口(国内0285-28-8415、
海外+81-285-28-8415又はContact Us)へお問合せください。

REDeeMとはどのような製品か

「REDeeM」(Remote Equipment Data Management)は、インターネットを利用したエキシマレーザのリモートモニタリングシステムです。ユーザー及び、レーザメーカーでのレーザ稼働情 報の共有が安価(導入・運用コスト)・簡単(操作性)・安全(セキュリティ安全性)に可能になり、レーザ保守管理を強力にサポートするツールです。従来、 半導体メーカーでは装置データ等を社内に保管するクローズドな管理体制をとっていますが、REDeeMは装置データを、インターネットを通して社外のサー バに十分なセキュリティの元で管理を行う、オープンで画期的なシステムです。

REDeeM導入によってユーザーはどのような恩恵を得るか

REDeeMを導入したお客様では、半導体メーカー、露光機メーカー及びギガフォトンのFSE、開発エンジニアが、迅速に同一の情報をシェアできることにより、サービスレスポンスが劇的に向上しました。
また、設置台数の多いユーザーにとってはエンジニアに掛かる管理負荷が軽減されるだけでなく、複数装置の最適運転管理を容易に実現し、結果として実質的なコスト低減に貢献しています。

REDeeMの稼動条件は

REDeeMは、装置データ、アプリケーションを集中管理するサーバユニット、サーバに対して情報配信するレーザ装置ユニット、装置状態をブラウズするユーザクライアントユニットの3つのユニットから構成されます。

各ユニットはインターネットにより結合されますが、HTTPS通信プロトコルを一貫して利用することにより、通信路の暗号化を実現しデータの保全を図っています。

カスタマー・サポート

製品の搬入・設置・立ち上げ・定期点検・修理などのサポート体制を知りたい

  • 製品の搬入・設置は、お客様に行っていただきます(設置マニュアルを用意しています)。
  • 立ち上げは、露光装置メーカーによる露光装置立ち上げに含まれています。
  • 定期点検・修理は、ギガフォトンのフィールドサービスが行います。

カスタマー・サポート専用窓口の有無

弊社は、世界のお客様工場の近くに、サービス拠点を展開しています。カスタマー・サポートについてのご連絡先は、こちらをご覧下さい。

カスタマー・サポートは年中無休か

平日の9:00am~5:00pmとなっています(土日・祝日、年末年始は休業)。また、お客様のご要望に応じ、特別サポートも行っております。詳細は弊社営業窓口(国内0285-28-8415、海外+81-285-28-8420)へお問合せください。

ユーザー向けトレーニングの有無

オペレータトレーニング、スーパーバイザトレーニング等を用意しています。

オンサイト・オフサイト・トレーニングの違いは何か

トレーニングの実施場所とプログラムが異なります。

  • オンサイトトレーニングは、お客様の工場ラインに設置されたレーザ実機のトレーニングを行います。
  • オフサイトトレーニングは、ギガフォトン小山トレーニングセンタで講義・実機のトレーニングを行います。

マニュアルの有無

  • レーザオペレーションマニュアルを、導入したユーザーへ供給しています。
  • トレーニングを受講したユーザーには、トレーニングマニュアルをCDで供給しています。

ユーザーが海外移転しても、サポートは継続するか

お客様の海外移転の際には、事前に、露光装置メーカー様と弊社営業窓口に、ご連絡いただきますようお願いします。