FAQ

ギガフォトンについて

会社設立はいつですか

2000年8月1日です。

本社以外の事業所・海外拠点はありますか

平塚事業所および国内外にサービス拠点等多数あります。詳しくはこちらをご覧ください。

資本金はいくらですか

50億円です。

株主は誰ですか

株式会社小松製作所(100%出資)です。

社員募集をしていますか

社員募集は適宜行っています。

社名の由来を教えてください

ギガビット時代に対応する光(光子=フォトン)という意味です。

社名ロゴの持つメッセージは何でしょうか

イニシャルのGが、「成長」をイメージしています。

会社設立の背景を教えてください

露光用エキシマレーザ市場の競争が激化する中、日本のエキシマレーザ技術を統合し、商品力・顧客サポート力を強化すべく、コマツとウシオ電機がエキシマレーザ事業を統合して、合弁会社ギガフォトン(株)が設立されました。(2011年合弁は解消され、現在はコマツ全額出資の子会社となっています。)

製品資料・見積の問い合わせ先を教えてください

見積等のご要望につきましては、弊社営業窓口(国内: 0285-28-8415、海外: +81-285-28-8415、又はContact Us)へお問合せください。

 

製品について

どのような工程で使用されていますか

半導体製造の露光(リソグラフィ)工程で、光源として使用されています。また、露光装置光源用エキシマレーザ技術を応用し、他分野でも光源として使用されています。

主力製品は何ですか

半導体露光装置光源用エキシマレーザの、以下のシリーズが主力製品となります。

  • 4 kHz KrFエキシマレーザ「G40K」シリーズ
  • 4 KHz ArFエキシマ レーザ「GT40A」シリーズ
  • 6 KHz ArFエキシマレーザ「GT60A」シリーズ

主な取引先はどこですか

エキシマレーザ本体は露光装置メーカ(ニコン・キヤノン・ASML他)へOEM供給しています。部品のサービスサポートは、半導体製造メーカに対して行っています。

製品開発はどこで行っていますか

ギガフォトン本社(小山)で製品開発を行い、一方平塚事業所で将来技術(EUV光源)開発を行っています。

ギガフォトン社製品の優れている点は何ですか

  • コア技術として、露光装置光源用エキシマレーザに要求されるエネルギの安定化技術とスペクトルの狭帯域化技術を持っています。
  • エキシマレーザは交換部品(モジュール)が非常に高価であり、露光装置全体のランニングコストの大部分を占めますが、ギガフォトンの部品は長寿命で交換間隔が長いことから、ユーザのランニングコストの低減に貢献します。
  • エキシマレーザは半導体製造のキーとなる露光装置に接続されて使用されるため、高い信頼性が要求されます。ギガフォトンのレーザは徹底した品質の作り込みにより、高稼働率を達成し、ユーザのダウンタイムの低減に貢献しています。

製品のリースは行っていますか

リースは行っておりません。

使用中の装置は買い替え時に下取りできますか

装置の下取り等につきましては、弊社レーザ装置を搭載している露光装置のメーカ様へご相談ください。

装置のデモンストレーションを見ることはできますか

デモンストレーションのご要望につきましては、弊社営業窓口(国内: 0285-28-8415、海外: +81-285-28-8415、又はContact Us)へお問合せください。

 

カスタマー・サポートについて

製品の搬入・設置・立ち上げ・定期点検・修理などのサポート体制を教えてください

  • 製品の搬入・設置は、お客様に行っていただきます。(設置マニュアルを用意しています)
  • 立ち上げは、露光装置メーカによる露光装置立ち上げに含まれています。
  • 定期点検・修理は、ギガフォトンのフィールドサービスが行います。

カスタマー・サポート専用連絡先を教えてください

カスタマー・サポートについてのご連絡先は、こちらをご覧下さい。

カスタマー・サポートの営業時間を教えてください

平日の9:00am~5:00pmとなっています(土日・祝日、年末年始は休業)。また、お客様のご要望に応じ、特別サポートも行っております。
詳細は、弊社営業窓口(国内: 0285-28-8415、海外: +81-285-28-8415)へお問合せください。

ユーザ向けトレーニングはありますか

オペレータトレーニング、スーパーバイザトレーニング等を用意しています。

マニュアルはありますか

  • レーザオペレーションマニュアルを、導入したユーザへ供給しています。
  • トレーニングを受講したユーザには、トレーニングマニュアルをCDで供給しています。

ユーザが海外移転しても、サポートは継続しますか

お客様の海外移転の際には、事前に、露光装置メーカ様と弊社営業窓口に、ご連絡いただきますようお願いします。

REDeeMとはどのような製品ですか

「REDeeM」(Remote Equipment Data Management)は、インターネットを利用したエキシマレーザのリモートモニタリングシステムです。ユーザ及び、レーザメーカでのレーザ稼働情報の共有が安価(導入・運用コスト)・簡単(操作性)・安全(セキュリティ安全性)に可能になり、レーザ保守管理を強力にサポートするツールです。従来、 半導体メーカでは装置データ等を社内に保管するクローズドな管理体制をとっていますが、REDeeMは装置データを、インターネットを通して社外のサーバに十分なセキュリティの元で管理を行う、オープンで画期的なシステムです。

REDeeM導入によってユーザはどのような恩恵を得ますか

REDeeMを導入したお客様では、半導体メーカ、露光機メーカ及びギガフォトンのFSE、開発エンジニアが、迅速に同一の情報をシェアできることにより、サービスレスポンスが劇的に向上しました。
また、設置台数の多いユーザにとってはエンジニアに掛かる管理負荷が軽減されるだけでなく、複数装置の最適運転管理を容易に実現し、結果として実質的なコスト低減に貢献しています。