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Major semiconductor manufacturers highly value Gigaphoton’s “Green Innovations” leading-edge environmental technologies, which achieve lower power consumption and reduced environmental impact in mass-production ArF immersion lasers

OYAMA, JAPAN; June 10, 2014 — Gigaphoton Inc., a major lithography light source manufacturer, announced today that major semiconductor manufacturers highly value its leading-edge “Green Innovations” environmental technologies, introduced to Gigaphoton’s flagship “GT Series” of ArF immersion lasers.

Since its establishment in 2000, Gigaphoton has consistently focused on achieving the highest levels of output power, performance, and stability in the industry, as well as implementing technologies and design principles that deliver the higher efficiency required for environmentally conscious “green fab.” These efforts have been proven in the field over time, with Gigaphoton’s GT Series customers having received the benefits of significantly lower power consumption and lower gas consumption.

In recent years, the conservation of natural resources has been demanded on a global scale from an environmental-conscious viewpoint. For over 14 years, we at Gigaphoton have been implementing ”Green Innovations” for its high-performance lasers. Furthermore, Gigaphoton started its EcoPhoton™ program in 2003, and since then has been aggressively working on achieving higher efficiency as well as minimizing the consumption of gases, water, power, and other resources.

Gigaphoton’s GT Series lasers have evolved its environmentally conscious “green technologies” based on this EcoPhoton™ program. The injection lock technology used by the GT Series lasers enables the delivery of higher output, higher performance, and higher stability at extremely high efficiency. It has enabled a reduction of power consumption by half compared with the conventional single-chamber technology. Gigaphoton will continue to promote the EcoPhoton™ program with the aim of reducing power consumption by 50% and gas consumption by 75% by 2019 compared with 2014 levels.

“I am very pleased and grateful that our Green Innovations have been so highly valued by our customers,” said Hitoshi Tomaru, President and CEO of Gigaphoton Inc. “We are committed to proceeding with our EcoPhoton™ program to make further contributions to the semiconductor industry.”

About the EcoPhoton™ Program

The EcoPhoton™ program is a roadmap started in 2003 to implement Green Innovations, focusing on detailed analyses of three key cost-of-ownership (CoO) metrics: cost of consumables (CoC), cost of downtime (CoD), and cost of environment (CoE). The program aims at achieving continuous reduction of these costs by developing innovative green technologies.

 About Gigaphoton

Since it was founded in 2000, Gigaphoton has developed and delivered user-friendly, high-performance DUV laser light sources used by major semiconductor chipmakers in the Pan-Asian, US and European regions.

Gigaphoton leads the way with cost-effective, highly productive lithography sources for high-volume production. With a global business outlook, Gigaphoton strives to be the world’s number-one lithography light source provider, focusing on end-user needs in every phase of its business — from research and development to manufacturing, to best-in-class reliability and world-class customer support. For more information, please visit www.gigaphoton.com

Media Contacts:

Katsutomo Terashima
Corporate Planning Division
Gigaphoton Inc.
P: +81-285-28-8410
E: katsutomo_terashima@gigaphoton.com
Naoto Hisanaga
Sales Division
Gigaphoton Inc.
P: +81-285-28-8415
E: naoto_hisanaga@gigaphoton.com

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ArF液浸レーザーで低環境負荷・低消費電力を実現するギガフォトンの最先端環境技術が「グリーンイノベーション」として大手半導体メーカーで高く評価されています

栃木県小山市; 2014610 — リソグラフィ光源の主要メーカーであるギガフォトン株式会社(本社: 栃木県小山市、代表取締役社長: 都丸仁、www.gigaphoton.com)は、本日同社の主要製品である高出力ArF液浸レーザー「GTシリーズ」に導入されている最先端環境技術「グリーンイノベーション」が、複数の大手半導体メーカーから高く評価されていることを発表しました。

ギガフォトンでは、2000年の創立以来、KrF及びArFレーザーの高出力・高性能・高安定性を高いレベルで達成するとともに、環境配慮型工場「グリーンファブ」の実現のため省電力化などに注力してきました。この度その努力が認められ、複数の大手半導体メーカーから、GTシリーズが低消費電力と低消費ガスで稼働するレーザーとして高い評価を受けることになりました。

近年、環境への配慮の観点から地球規模での資源節約が切望される中、ギガフォトンでは創立以来14年間、レーザー装置に環境技術を導入してきました。そして、2003年にはEcoPhoton™プログラム(注を策定し、製品の更なる効率向上、ユーティリティ(電力・ガス・水等)使用量の低減に取り組んできました。

ギガフォトンのGT シリーズレーザーは2003年の発売開始以来、このEcoPhoton™プログラムに沿って、グリーンテクノロジーを進化させてきました。GTシリーズレーザーが採用しているインジェクションロック技術は、高出力・高性能・高安定性を高効率で達成でき、それ以前の技術(シングルチャンバ技術)と比べた場合、50%もの大幅な消費電力の削減を実現しました。ギガフォトンでは、今後もこのプログラムを進化させることで、2019年までに消費電力を現在より50%削減、消費ガスを75%削減することを目指しています。

 ギガフォトン代表取締役社長兼CEOの都丸仁氏は「ギガフォトンが目指す量産装置におけるグリーンイノベーションを高く評価して頂き、非常に嬉しく思います」と述べました。「私達は今後もEcoPhoton™プログラムを継続して実現し、半導体産業に貢献していく所存です。」

EcoPhoton™プログラムについて

EcoPhoton™プログラムは、2003年以来、ギガフォトンがグリーンイノベーションを実現するために策定したロードマップです。このプログラムでは、レーザーの稼働コスト(Cost of Ownership = CoO)を、消耗部品により発生するコスト(Cost of Consumable = CoC)、ダウンタイムにより発生するコスト(Cost of Downtime=CoD)、環境負荷のコスト(Cost of Envrioment = CoE)の3種類に分類し、このコスト要因を詳細に分析。新技術の投入により継続的なコスト低減を目指しています。

ギガフォトンについて

2000年に設立されて以来、ギガフォトンはアジア全体、米国およびヨーロッパ地域の主要半導体チップメーカーによって使用されるユーザーフレンドリーな、高性能DUVレーザー光源を開発、供給してきました。

ギガフォトンは、費用効果と生産性に優れたリソグラフィ光源の大量生産において先導的役割を果たしています。グローバルなビジネス展望を持って、ギガフォトンは、研究開発から製造までの事業のすべての局面においてエンドユーザのニーズに焦点をあて、業界最高の信頼性と世界水準の顧客サポートでリソグラフィ光源を供給する世界No.1企業になるよう努力しています。詳細については、www.gigaphoton.comをご覧ください。

 

報道関係者向けの連絡窓口: 

寺嶋 克知

ギガフォトン株式会社

経営企画部

TEL: +81-(0)285-37-6931

Eメール: katsutomo_terashima@gigaphoton.com

久永 直人

ギガフォトン株式会社

営業部

TEL: +81-(0)285-28-8415

Eメール: naoto_hisanaga@gigaphoton.com

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