EUVリソグラフィ装置用のLPP光源 量産適用に向けて大きく進捗

栃木県小山市; 2015年10月2日 — リソグラフィ光源の主要メーカーであるギガフォトン株式会社(本社: 栃木県小山市、代表取締役社長: 都丸仁)は、現在開発中のEUVスキャナー用レーザー生成プラズマ(LPP)光源のプロトタイプ機において、量産工場での使用を模擬した運転パターンにて平均60W、24時間の連続稼働を達成したと本日発表しました。
この成果は、これまでギガフォトンが開発を続けてきた、20μm以下の微小ドロップレットの供給技術、短波長の固体レーザーによるプリパルスとCO2レーザーによるメインパルスの組み合わせ、磁場を使ったデブリ除去技術を、より進化させたことによって達成されました。ギガフォトンが今回達成した、量産工場での使用を模擬した運転パターンでの平均60W、24時間の連続稼働は、量産対応EUVスキャナーの実現に向けて大きく進捗したことを意味しています。今後ギガフォトンでは、2015年中に高出力検証機を稼働させ、メモリー等への量産対応目安である250Wレベルの連続運転を目指し、更なる研究開発に取り組んでいきます。
ギガフォトン代表取締役社長兼CEOである都丸仁氏は、次のようにコメントしています。 「今回の成果は、半導体量産工場が待望する高出力、低ランニングコストで安定稼働が可能なLPP光源の完成へと確実に近付いていることを示しています。ギガフォトンの高度な技術力と量産に向けた開発努力が、量産用EUVリソグラフィスキャナーの開発を加速させ、次世代露光技術としてのEUVスキャナーの導入時期を一層早めると確信しております」。
本件を含むギガフォトンの最新のEUV光源開発状況については、10月5日から7日までオランダで開催されるEUVリソグラフィに関する国際シンポジウム(2015 International Symposium on Extreme Ultraviolet Lithography)で発表予定です。なお、同社は本シンポジウムを協賛しております。
*本件は、国立研究開発法人「新エネルギー・産業技術総合開発機構(NEDO)」の助成プログラムの成果を活用しています。

ギガフォトンについて
2000年に設立されて以来、ギガフォトンはアジア全体、米国およびヨーロッパ地域の主要半導体メーカーのための、ユーザーフレンドリーで高性能なDUVレーザー光源を開発・供給してきました。

ギガフォトンは、生産性と費用対効果が重要な大量生産(HVM)において必要とされる、優れたリソグラフィ光源を供給する世界No.1企業になるよう努力しています。常にエンドユーザのニーズに焦点をあて、研究開発から製造まですべての局面において、業界最高の信頼性と世界水準の顧客サポートを目指しています。
詳細については、www.gigaphoton.comをご覧ください。

報道関係者向けの連絡窓口
ギガフォトン株式会社
経営企画部 
TEL:0285-37-6931
E-MAIL:web_info@gigaphoton.com

A major step forward to the mass production of LPP light sources for EUV lithography systems

OYAMA, JAPAN; October 1, 2015 ― Gigaphoton Inc. (headquarters: Oyama-shi, Tochigi-ken; President & CEO: Hitoshi Tomaru), a major lithography light source manufacturer, announced today that it has successfully achieved 24-hour continuous operation of its EUV light source with average output power of 60W on its prototype laser-produced plasma (LPP) light sources, using operating patterns that simulate usage in an high-volume manufacturing (HVM) environment.
This achievement was a result of further advancements in key technologies developed by Gigaphoton, such as Droplet Generators capable of producing tin (Sn) droplets smaller than 20 μm in diameter, the short-wavelength, solid-state pre-pulse laser and main pulse CO2 laser, and debris mitigation technology using high-output superconducting magnets and Sn etching. Gigaphoton is planning to start operation of a high-output pilot unit by the end of 2015, and remains committed to furthering its R&D efforts with goals of achieving continuous operation at 250W output levels, which is considered as a requirement for manufacturing applications such as memory devices.
“This result demonstrates that we are very close to realizing high power, low cost, and stable LPP light sources required by our customers,” said Hitoshi Tomaru, President and CEO of Gigaphoton. “I believe that Gigaphoton’s expertise and efforts to develop the LPP light source will accelerate the development of EUV scanners for HVM. This achievement will also further encourage the industry to employ EUV scanners for their next-generation lithography processes.”
Further details related to this press release will be presented at the 2015 International Symposium on Extreme Ultraviolet Lithography in the Netherlands from October 5 through 7, 2015. Gigaphoton is one of the sponsors of the symposium.
This milestone was achieved as part of a program subsidized by the New Energy and Industrial Technology Development Organization (NEDO).

About Gigaphoton
Since its founding in 2000, Gigaphoton has been developing and supplying user-friendly, high-performance, DUV laser light sources, for leading semiconductor manufacturers throughout Asia and in parts of the United States and Europe.

Gigaphoton is working to be the number one supplier in the world of excellent lithography light sources, which are required for high-volume manufacturing (HVM) in which productivity and cost/effectiveness are important. Always focusing on the needs of the end users, Gigaphoton aims for the best reliability in the world and for customer support that meets global standards in all areas from research and development through manufacturing.

For more details please visit: www.gigaphoton.com

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