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Company succeeds in light emission levels capable for use in high-volume manufacturing of state-of-the-art semiconductors

OYAMA, Tochigi July 6, 2016 — Gigaphoton Inc., the leading manufacturer of light sources used in lithography, has announced success in achieving 250W light output at 4.0% conversion efficiency with a Laser-Produced Plasma (LPP) light source prototype for EUV scanners, which the company is currently engaged in developing. At this output level, the light sources can be used in high-volume manufacturing of state-of-the-art semiconductors. The company also announced its success in achieving 119 hours of continuous operation at over 130W in testing.

This result was achieved via the culmination of a number of efforts that the company has continued to develop, including the sub 20 μm micro droplet supply technology, the combination of solid state pre-pulse and CO₂ main pulse lasers, improvements in energy control technology, and magnetic field enabled debris mitigation technology.

Gigaphoton has also launched operation of a high-power EUV light source verifier designed for use in a semiconductor high-volume manufacturing environment, and is committed to continuing the development of EUV light sources with high operational rates and reliability in an aim to facilitate their implementation in the high-volume manufacturing of semiconductors.

Hakaru Mizoguchi, Vice President and CTO of Gigaphoton says, “Our success in achieving 250W output at 4.0% conversion efficiency serves to demonstrate how very close we are to perfecting an EUV light source that will achieve the high output rates, while delivering stable operation at low running costs, which the semiconductor manufacturers have long waited for. We are confident that Gigaphoton’s advanced technological capabilities and development efforts aimed at high-volume manufacturing will ultimately produce ground breaking results by accelerating the development of EUV scanners for mass production, expediting the implementation of EUV scanners as the next generation of technology in lithography, contributing to overall development of the semiconductor industry, and accelerating the realization of an IoT based society.

*This project utilizes results from the New Energy and Industrial Technology Development Organization (NEDO) grant program.

About Gigaphoton

Since it was founded in 2000, Gigaphoton has delivered valuable solutions to semiconductor manufacturers throughout the world as a laser supplier. Gigaphoton’s patented and innovative technology of LPP EUV solutions play a leading role in achieving better cost effectiveness and productivity in EUV scanners intended for high-volume manufacturing. In every stage from R&D to manufacture, sales, and maintenance services, Gigaphoton is committed to providing world-class support delivered from the perspective of everyday users. For more information please visit www.gigaphoton.com.

Media contact:

Gigaphoton Inc.

Corporate Planning Department

Akinori Matsui

TEL: 0285-37-6931

Email: web_info@gigaphoton.com

The information contained in this news release is current at the time of announcement and subject to change without notice.[:ja]

最先端半導体量産適用可能レベルの発光に成功

栃木県小山市；　2016年7月6日 — リソグラフィ光源の主要メーカーであるギガフォトン株式会社は、現在開発中のEUVスキャナー用レーザー生成プラズマ（LPP）光源のプロトタイプ機において、発光効率4.0.%で最先端半導体量産適用可能レベルである出力250Wの発光に成功、および130W以上の出力で119時間の連続運転試験についても成功したと発表しました。

この成果は、これまでギガフォトンが開発を続けてきた、20μm以下の微小ドロップレットの供給技術、固体レーザーによるプリパルスとCO2レーザーによるメインパルスの組み合わせ、エネルギー制御技術の改善、および磁場を使ったデブリ除去技術をさらに進化させたことよって達成されました。

ギガフォトンでは、半導体量産工場での使用を想定して設計したEUV光源の高出力検証機の稼働も併せて開始しており、引き続き最先端半導体量産への適用を目指して高稼働率、高信頼性EUV光源の開発を進めていきます。

ギガフォトン代表取締役副社長兼CTOである溝口計氏は、次のようにコメントしています。　「発光効率4.0%にて250W出力に成功したことは、半導体量産工場が待望する高出力、低ランニングコストで安定稼働が可能なEUV光源の完成が間近であることを示しています。このようなギガフォトンの高度な技術力と量産に向けた開発努力は、量産用EUVスキャナーの開発を加速させ、次世代露光技術としてのEUVスキャナーの導入時期を一層早め、半導体産業の発展に寄与し、IoT社会の実現を加速させる画期的な成果であると確信しております」。

*本件は、国立研究開発法人「新エネルギー・産業技術総合開発機構（NEDO）」の助成プログラムの成果を活用しています。

ギガフォトンについて

2000年設立以来、ギガフォトンはレーザーサプライヤーとして、価値あるソリューションを世界の半導体メーカーに提供し続けています。ギガフォトンの、特許を取得した革新的技術であるLPP EUVソリューションは、費用対効果と生産性に優れた量産向けEUVスキャナーの実現に向けて先導的役割を果たしています。ギガフォトンは、研究開発から製造・販売・保守サービスまで、常にユーザー目線に立った業界最高水準のサポートをお約束します。詳細についてはwww.gigaphoton.comをご覧ください。

報道関係者向けの連絡窓口

ギガフォトン株式会社

経営企画部

松井章記

TEL: 0285-37-6931

Eメール: web_info@gigaphoton.com

ニュースリリースに記載されている情報は発表時のものであり、予告なしに変更される場合があります。[:]