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董事 常务执行董事
Takashi Saito
斋藤董事于2017年6月就任董事。2000年，Gigaphoton与优志旺电机开始创办合资企业（2011年解散），斋藤从优志旺电机调往Gigaphoton后转为Gigaphoton的正式员工。曾任开发部副部长、客户支持（CS）部部长，现任EUV开发部部长，同时担任分管激光开发、品质保证的负责人。本次，我们采访了本公司技术开发的关键人物斋藤先生。
―斋藤先生担任董事已经一年半了，您认为现在公司面临怎样的课题呢？
进入经营决策层，对公司课题的认识比以前更加明确了。短期课题是强化光刻准分子激光(DUV)的竞争力。重点是零部件的长寿命化、能量和波长的稳定性。另外，当务之急是培养能够很好地与现场服务工程师（FSE）和当地法人进行沟通的全球化人才。长期课题是接下来的新业务开展和EUV*的开发。现有的DUV业务很顺利，我想这段时间是个很好的机会。当前需要开发面向平板显示器(FPD)的激光退火业务，并向其它领域发起挑战。不仅仅是光源业务，另外也播下了像FABSCAPE那样的分析用软件的种子，希望它能够早点成为支柱业务之一。关键是能够坚持不懈地做好EUV业务。希望能够充分发挥Gigafton的优势，尽快将其做成商务。
―作为EUV开发部长，请斋藤先生谈谈您对EUV的想法。
在光刻行业，新一代光源毫无疑问是EUV，如果没有EUV，对于光源制造厂来说就不能算是最尖端企业。估计在数年后，当DUV实现商品化，全世界都是EUV而自己却没有时，那就失去了在光刻行业生存下去的内在动力。为了避免这一点，我呼吁充分运用本公司的碎片缓解技术，尽快打开局面。
―从开始EUV开发算起，已超过15年了吧。
是啊。就算是DUV，如果象现在一样能够见到效益，大概也需要花费30年左右的时间。小松从2003年左右就开始了EUV研究，而我们公司着手进行研究和开发是在2011年解除了与优志旺的合资之后。虽然历史悠久，但从真正开始开发这层意义上来说，还是最近的事情。在我看来，与DUV相比，EUV在费用方面大不相同，对于本公司的规模来说，这是一项大生意，利用有限的研究经费把这项工作做到现在，我们的精英们做得很好。
―您认为Gigaphoton的强项是什么？
我们是一家成立不到20年的公司，刚成立时的成员依然还在，我觉得这是件好事。作为公司的财产，如何把这些人留下的大多数成果进一步发扬光大，我认为这也是一个重要的课题。另外，随着公司的迅速发展，从其他公司也来了很多人，其中有几个人还是目前Gigaphoton的核心人物。这样，在公司的成长过程中，能够很好地吸取外来的血液，这也可以说是我们的一大优势吧。公司高层和负责人员之间没有隔阂，公司充满着自由的风气。另有光刻行业的著名传奇人物担任本公司顾问，我认为这也是一件很好的事情。从这些人那里能够学到很多东西，特别是从事研究开发的人员，我希望他们能向这些顾问们多多学习。
―到现在为止，您对自己所经历的事情印象最深的是什么？
首先是2001年我担任开发工作的产品经理时，为现在的业界最大公司OEM开发出了单室方式的ArF准分子激光器。遗憾的是这款产品并不畅销，但是我认为那时候构筑起来的关系与后来双室激光器的销售紧密相连，并且打下了与客户建立良好关系的坚实基础。另外，从2007年开始的5年时间里，我先后担任了CS部的副部长、部长。之前我都是专心从事开发工作，担任领导工作后，刚开始有好多事情都不明白。现在无法想象的是，刚调到CS部的时候有零部件的盘点，那时候，由于一部分业务程序并不完善，出现了很大的差异。尽管如此，当时我心想：“盘点就是这样的吧？”，还是接受了那个盘点报告。当我得知这是异常情况后，我马上将其恢复到正常状态。调动当初完全没有库存管理的感觉，在一瞬间对那种异常没有实际感觉。多亏有了CS部的工作经验，让我学到了销售、服务、库存管理、出口管理、公司的经营体制等知识，觉得非常好。
―最后，请齐藤先生谈谈您的梦想。
首先，在工作方面，希望Gigaphoton将来能够成为销售额达到1000亿日元的企业。我想其中的关键还是EUV。如果EUV也能做到像现在的DUV一样，就能够实现这一目标。个人生活方面，每年都与家人和朋友去露营，已经持续了大约20年，不过，最近孩子长大了，各种准备工作几乎都是他们完成的。因此，我打算接下来体验一下夫妻二人的野营车旅行。然后乘坐各地的豪华列车旅行也不错。如果能够拥有闲暇时光，那我刚才说的目标就能够实现。
＊EUV）是一种采用被称为极端紫外线(EUV)的、波长非常短(13.5 nm)的光的光刻度技术，通过使用EUV光源，能够进行更微细的加工。
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董事 常務執行董事
Takashi Saito
2017年6月，齋藤先生就任本公司董事。2000年，Gigaphoton与優志旺電機開始創為合資企業（於2011年解除合資關係）。齋藤董事原為優志旺電機派赴Gigaphoton的人員，之後轉任為公司正式職員，歷任開發部副部長、客戶支援（CS）部長等職務，目前擔任EUV開發部長兼雷射開發暨品質保證執行董事，為本公司技術開發之要。這一次，我們將對齋藤董事進行深入訪問。
―齋藤先生就任董事已有一年半的時間，您認為當前公司的課題有哪些？
加入經營高層之後，公司的課題更加明確。短期方面，要強化微影準分子雷射（DUV）的競爭力，尤以零件長壽化、能量和波長穩定性為重點。此外，也深切感受到培育能與現場服務工程（FSE）或各當地法人間縝密溝通的人才之急切與必要性。長期方面，則是發展新的商機以及EUV＊的開發。目前，既有DUV商務推展順利，我認為這段期間實為大好良機。當前將會發展平面顯示器（FPD）退火用雷射的商務，同時也會挑戰其他領域。另外，不僅是光源商務，像是FABSCAPE等分析軟體也已經播下種子，這部分也希望能早日茁壯，形成另一支商務上的台柱。EUV能堅持發展到什麼境地，會是一個關鍵。我非常期盼Gigaphoton的強項能夠獲得實證，早日形成商機。
―齋藤董事身為EUV開發部長，能否描述一下您對EUV的想法？
在微影這一塊，次世代光源毫無疑問將是EUV的天下，沒有EUV，就無法號稱走在光源製造商的最前端。也許再過幾年，當DUV大眾化、EUV機種開始在市場上出現時，我們卻沒有這樣的產品，作為一家在微影業界努力的企業，不是一件非常令人沮喪的事嗎？為了不致如此，我認為要廣為宣揚本公司碎片清除技術的強項，並儘早切入商機。
―EUV從開發至今，已經超過15個年頭了呢。
是的。不過，DUV如今能夠盈利，前前後後也是走過了大約30年的時光。EUV雖然在2003年就由小松製作所展開研究，但公司則是在2011年解除和優志旺電機合資之後，方才展開這方面的研究與開發。研究歷史雖然長，但就正式開發的意義來看，也不過是近幾年的事。EUV的費用和DUV的相比多出了一個位數，就公司規模來說是非常龐大的商機，卻有一種由少數菁英在有限研究經費下居然能有此成果的印象。
―您覺得Gigaphoton的強項是什麼？
公司創立將屆20週年，當初的元老成員依然健在，我認為這是好事，而如何將他們留下的諸多碩果，作為公司資產好好傳承下去，也是一項課題。此外，隨著公司急遽成長，許多人由其他公司轉入，其中有幾位已經成為Gigaphoton的中流砥柱。每當公司成長，都能順利由外界吸收新血，也可說是一種強項，我想，這應該是高層與負責業務者之間幾無隔閡的公司自由風氣所導致。此外，多位人稱微影業界傳奇的有名人士也以顧問身份接受本公司的聘請，我覺得這是非常棒的一件事。他們有太多值得學習之處，尤其對於研發人員來說，希望能夠吸收得越多越好。
―在您的經歷中，最令您難忘的事是什麼？
首先是2001年在任職開發專案經理的時候，著手開發了供應目前業界最大企業的OEM單腔ArF準分子雷射。雖然銷售成績並不佳，但我覺得當時結下的緣分，為日後的雙腔雷射機種販售鋪路，更為目前與客戶的良好關係打下了基礎。其次是自2007年起的5年，我在CS部先後就任副部長、部長。原本的我只懂開發，可說是在一無所知的情況下開始做起。或許從現在的我來看很難想像，但剛調任CS部時，我正好遇上庫存零件盤點，當時因為部分業務程序不周，盤點結果差異得很離譜，然而我卻認同了那份結果報告，覺得「盤點大概就是這樣」；後來才知道那是異常，並趕緊將其恢復正常，但調任當初一點庫存管理的概念都沒有，無法立即察覺異常呢。因為CS部的歷練，讓我學會了販售、客服、庫存管理、出貨管理等公司流程，令我深感慶幸。
―最後，想請教齋藤董事的夢想是？
嗯，先說工作方面吧。我期盼Gigaphoton將來能躋身為營銷額1000億日幣的企業，而其關鍵仍然在於EUV。如果EUV也能形成像目前DUV般的商機，我認為很有可能實現。而在私人方面，近20年來我每年會和家人或是同好前往露營。最近孩子們長大了，行前準備幾乎都是他們來完成，所以，我會想和妻子兩個人嘗試露營車之旅。還有，到各地搭乘豪華列車旅行似乎也不錯。前面說的雖然都是將來的願景，但只要慢慢的把時間空出來，我會想要圓了這個夢想。
＊EUV）是使用通稱極紫外線（EUV）之極短波（13.5 nm）光線的微影技術。使用EUV光源，就可進行更精密的加工。
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상무 상무 집행 임원
Takashi Saito
사이토 이사는 2017년 6월에 이사로 취임했습니다. 기가포톤은 2000년에 우시오 전기와의 조인트 벤처로서 시작했습니다만(2011년 해소), 사이토 이사는 우시오 전기에서 기가포톤으로 파견 후 이적했습니다. 개발부 부부장, 고객 지원(CS) 부장을 거쳐 현재는 EUV 개발 부장으로서 그리고 레이저 개발ㆍ품질 보증 관장 임원으로서 당사 기술 개발의 핵심으로 있는 사이토 이사에게 이야기를 들어 보았습니다.
―사이토 씨가 이사가 된 지 1년 반이 지났습니다만, 지금 어떤 것이 회사의 과제라고 생각하십니까?
경영진으로 참여한 후 회사의 과제가 더욱 명확해졌습니다. 단기적인 과제로서는 리소그래피용 엑시머 레이저(DUV)의 경쟁력 강화입니다. 특히 부품의 장수명화와 에너지 및 파장의 안정성이 포인트가 될 것입니다. 또한 필드 서비스 엔지니어(FSE)와 각 현지 법인과 확실하게 커뮤니케이션할 수 있는 글로벌한 인재 육성이 급선무라고 느끼고 있습니다. 장기적인 과제로서는 다음 비즈니스의 전개와 EUV*의 개발입니다. 지금은 현재의 DUV 비즈니스가 순조롭게 흘러가므로 이 기간이 기회라고 생각합니다. 당분간은 플랫 패널 디스플레이(FPD)용 어닐용 레이저 비즈니스를 육성하고 동시에 다른 분야에도 도전해 나가는 것이죠. 또한 광원 비즈니스뿐만 아니라 FABSCAPE와 같은 분석용 소프트웨어의 씨앗도 뿌려지기 시작했으므로 이것도 빨리 비즈니스의 한 축이 되어 주었으면 합니다. EUV는 얼마나 끈질지게 하는가가 관건입니다. 기가포톤의 강점을 실증하고 가능한 한 빨리 사업화해 나가고 싶습니다.
―EUV 개발 부장으로서 사이토 씨의 EUV에 대한 구상을 들려주십시오.
리소그래피 세계에서는 다음 세대의 광원은 틀림없이 EUV이므로 EUV가 없다는 것은 광원 메이커로서 최첨단 기업이라고 할 수 없게 되는 것입니다. 몇 년 후인지는 알 수 없습니다만, 언젠가 DUV가 상품화되어 세상에 EUV가 보급되었을 때, 자신들에게는 그것이 없으면 리소 업계에서 살아가는 회사로서는 모티베이션이 떨어지지 않을까요? 그렇게 되지 않기 위해서도 당사의 강점인 데브리 미티게이션(잔여물 제거 기술)을 어필하여 빨리 비즈니스에 진출하고 싶습니다.
―EUV 개발은 시작한 지 15년 이상 지났습니다.
그렇습니다. 하지만 DUV도 지금처럼 이익이 나기까지 이럭저럭 30년 정도 걸렸습니다. EUV는 2003년경부터 코마츠에서 연구가 시작되었습니다만, 자사에서 연구ㆍ개발하게 된 것은 2011년에 우시오와의 합작을 해소한 후입니다. 역사는 길지만, 본격적으로 개발을 시작했다는 의미에서는 아직 최근의 일입니다. EUV는 DUV에 비하면 비용도 한 자리가 다르고, 당사의 규모에 비해 큰 비즈니스입니다만, 한정된 연구 비용 속에 소수 정예로 용케도 여기까지 버텨 왔구나 하는 인상입니다.
―기가포톤의 강점은 무엇이라고 생각하십니까?
설립된 지 20년이 조금 안 되는 회사이므로 발족 당시에 있었던 멤버가 아직 있다는 것은 좋은 일이라고 생각합니다. 그 사람들이 남겨 준 많은 성과를 회사의 재산으로서 확고한 형태로 계승해 나가는 것도 과제입니다. 또한 회사가 급격히 성장함에 따라 타사로부터 많은 분들이 이직해 왔습니다만, 그중 몇 명은 지금의 기가포톤에서 중심 인물로 활약하고 있습니다. 그렇게 회사가 성장할 때마다 외부로부터 인재를 잘 받아 들일 수 있는 것도 강점이라고 할 수 있겠습니다. 이는 경영진과 담당자의 경계가 별로 없는 자유로운 기업 문화에 따른 것이라고 생각합니다. 또한 리소그래피 업계의 레전드라 불리는 저명한 분들이 당사에 조언자 입장에서 재적해 주시는 것도 매우 좋은 일이라고 생각합니다. 그분들로부터 배울 것이 많이 있으므로 특히 연구ㆍ개발을 하는 사람들은 하나라도 많이 흡수해 주었으면 합니다.
―지금까지 경험하신 것 중에 어떤 일이 인상에 남습니까?
먼저 2001년에 개발 프로덕트 매니저였을 때 현재의 업계 최대 기업의 OEM용으로 싱글 체임버 방식의 ArF 엑시머 레이저를 개발한 것입니다. 안타깝게도 그다지 팔리지 않았습니다만, 이때 쌓은 관계가 다음 트윈 체임버 방식 레이저의 판매로 이어지고 동시에 고객님과 지금의 좋은 관계의 기초를 만든 것이 아닌가 하고 생각됩니다. 또한 2007년부터 5년간 CS부에서 부부장, 부장을 역임했습니다. 그때까지는 개발 외길이었으므로 전혀 모르는 것투성이인 상태에서의 시작이었습니다. 지금은 상상도 할 수 없는 일로, CS부로 막 발령받았을 때 부품 재고 조사가 있었습니다만, 이때 일부 업무 순서의 미비점이 원인이 되어 상당히 큰 차이가 발생해 버렸습니다. 그럼에도 불구하고 ‘재고 조사란 이런 것이구나’ 하고 그 보고에 납득해 버렸습니다. 이것이 잘못된 것임을 알고 즉시 정상적인 상태로 되돌렸습니다만, 발령받았을 당시에는 재고 관리의 감각이 전혀 없어 이러한 잘못을 금방 깨닫지는 못했습니다. CS부를 경험한 덕분에 판매, 서비스, 재고 관리, 수출 관리 등 회사의 구조를 배울 수 있어서 매우 좋았다고 생각합니다.
―끝으로 사이토 씨의 꿈을 들려주십시오.
글쎄요, 먼저 업무적인 면에서는 기가포톤이 앞으로 매출액 1000억 엔에 이르는 기업이 되어 주었으면 합니다. 그 열쇠가 되는 것은 역시 EUV라고 생각합니다. 지금의 DUV와 같은 비즈니스를 EUV로 할 수 있으면 이것도 가능하다고 생각합니다. 개인적인 면에서는 매년 가족이나 친구끼리 캠핑을 다닌 지 이제 20년 정도 됩니다만, 최근에는 아이가 성장하여 다양한 준비를 대부분 해 주더군요. 그래서 이제 부부 둘이서 캠핑카 여행을 해 보고 싶습니다. 앞으로 각지에 있는 호화 열차를 타고 여행하는 것도 좋을 것 같습니다. 모두 아직 미래의 이야기입니다만, 천천히 시간을 갖게 되면 실현하고 싶습니다.
＊EUV）극단 자외선(EUV)이라고 불리는 매우 짧은 파장(13.5nm)의 빛을 사용하는 리소그래피 기술이며, EUV 광원을 사용하면 보다 미세한 가공이 가능해진다.
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