G41A

100 nmノードに対応する4 kHz ArF エキシマレーザ

GT41A

主な特長

  • 新設計の固体パルス電源により周波数4000 Hzでの発振が可能となり、20 Wの高スループットが実現
  • ギガフォトンKrFレーザ(G10Kシリーズ、G20Kシリーズ)の高信頼設計を踏襲

主仕様*

発振波長 193 nm
平均出力 20 W
パルスエネルギー 5.0 mj
発振周波数 4,000 Hz
スペクトル線幅(FWHM) 0.35 pm
スペクトル幅(95 %エネルギー積算-E95) 0.85 pm
(*) 各仕様値は代表値です