G42A

80 nmノードに対応する4 kHz ArF エキシマレーザ

GT41A

主な特長

  • G41Aをベースとし、スペクトル幅(半値全幅)をG41Aの0.35 pmから0.3 pmに改良することにより、80nmデザインルールへの対応
  • 各モジュールに高耐久部品を採用することにより長寿命化し、CoOを大幅に低減
  • レーザチャンバ:電極に高耐久部品を採用
  • 狭帯域化モジュール、モニタモジュール等:光学部品に高耐久材料を採用

主仕様*

発振波長 193 nm
平均出力 20 W
パルスエネルギー 5.0 mj
発振周波数 4,000 Hz
スペクトル線幅(FWHM) 0.3 pm
スペクトル幅(95 %エネルギー積算-E95) 0.75 pm
(*) 各仕様値は代表値です