GT45A

GT65Aの最先端技術を適用、高い機能拡張性でさらなる生産性(ウェハアウトプット)向上を実現


 

GT45Aは、最先端ArF液侵用光源であるGT65Aプラットフォームをベースとした、高い機能拡張性を備えたモデルとなっています。
最新型モジュール搭載による「高稼働率」、現行モデルGT40Aから引き継いだ「ヘリウムフリー」で、生産性の向上と環境負荷軽減を同時に実現します。
また、スペクトル幅安定性の向上、可変技術、最大90Wの高出力化を可能にし、お客様の多様なニーズに応えます。


主な特長

1. モジュール寿命延長
GT65Aで導入・実績のあるモジュール寿命延長技術を、標準で搭載。メンテナンス頻度を低減させ、生産性向上に貢献します。

2. 高い機能拡張性
GT65Aで使用可能な機能・技術を、搭載することが可能です。


主仕様*
発振波長 193 nm
平均出力 45 - 90 W
パルスエネルギー 11.25 - 15 mJ
発振周波数 4,000 - 6,000 Hz
スペクトル幅(95%エネルギー積算-E95) ≤0.5 pm
(*) 各仕様値は代表値です