G21K

0.13 μmデザインルールに対応する2 kHz KrFエキシマレーザ

G20K

主な特長

  • 定評あるG20Kのエネルギー安定性をさらに向上
  • 狭帯域化光学系の改良により、0.13 µm技術ノードのリソグラフィプロセスに対応する超狭帯域化性能:スペクトル半値0.5 pmを実現

主仕様*

発振波長 248 nm
平均出力 20 W
パルスエネルギー 10.0 mj
発振周波数 2,000 Hz
スペクトル幅(FWHM) 0.5 pm
スペクトル幅(95 %エネルギー積算-E95) 1.4 pm
積算エネルギー安定性 0.35 %
(*) 各仕様値は代表値です