G41K-1H

130 nm以下ノードに対応する 4 kHz KrF エキシマレーザ

G41K-1H

4kHz KrFエキシマレーザシリーズの第2世代モデルであるG41Kに対し、磁気浮上レーザチ ャンバ、高効率LNM、MMを標準搭載したモデルとなります。
高効率により1ランク上の40 W出力を達成。更なるドーズを要求する先端露光プロセスに 対応します。光学モジュールは30ビリオンパルスの長寿命化を達成(当社G41Kに対し50 %アップ)。
G41KからG41K-1Hへは、モジュール交換によりフィールドでのアップグレードが可能とな っています。


主な特長

  • G41Kの更なる高効率化により40 Wの高出力/超低CoOを実現
  • TGMソフトウェアにより、ガスライフを従来比100%延長可能
  • 数百台の市場稼動レーザが示す、圧倒的に高い信頼性

主仕様*

発振波長 248 nm
平均出力 40 W
パルスエネルギー 10.0 mj
発振周波数 4,000 Hz
スペクトル幅(FWHM) 0.35 pm
スペクトル幅(95 %エネルギー積算-E95) 1.1 pm
(*) 各仕様値は代表値です