G45K

50W対応4kHz KrFエキシマレーザー


 
4kHz KrFエキシマレーザーシリーズの第3世代モデル、G45Kは最先端メモリチップ生産効率向上に向けた、最大50Wの高出力モデルです。さらにモジュール寿命延長と、グリーンテクノロジーによって「稼働率向上」と「環境負荷軽減」を両立します。


主な特長

1. 高出力化
従来比+25%の高出力パワー50Wを実現しました。最先端メモリチップの生産性向上に寄与します。

2. モジュール寿命延長
主要モジュールの寿命を20%延長させ、メンテナンスによるダウンタイム低減を実現しました。これにより装置稼働率のさらなる向上が期待できます。

3. グリーンテクノロジー
装置稼働中のヘリウムの使用量をゼロにする“ヘリウムフリー”を標準搭載、またネオンガスリサイクルシステム“hTGM”を接続させることにより、オペレーションコストの削減と環境負荷の軽減に寄与します。


主仕様*
発振波長 248 nm
平均出力 40 W – 50 W
パルスエネルギー 10.0 - 12.5 mJ
発振周波数 4,000 Hz
スペクトル幅(FWHM) 0.35 pm
スペクトル幅(95 %エネルギー積算-E95) 1.1 pm
(*) 各仕様値は代表値です