G300K

GIGANEXシリーズ新製品、次世代微細アブレーション加工用300W KrFレーザー。高出力、高信頼性のCOO低減対応モデル

G300K
 
KrFレーザー「G300K」はGIGANEXのラインナップに加わる新機種であり、微細アブレーション等の「加工の最適化」をコンセプトとして、高出力、99%以上の高稼働率を維持しながら、お客様のROI最大化を実現したモデルです。累計出荷実績900台以上となる当社の半導体リソグラフィ用KrF光源G41Kを基本プラットフォームとして採用し、高出力に最適化された電源、レーザチャンバーを新規開発し、搭載致しました。これにより、半導体製造バックエンド工程における次世代微細アブレーション加工において、生産性向上とCOO低減によるお客様のROI最大化をサポートします。


主な特長

  1. 高繰返し、高出力
    加工用KrFレーザーとして、唯一となる4000Hzの高繰返し、300Wの高出力を達成。従来のUVレーザーでは実現不可能領域での微細アブレーション加工が可能となります。
  2. 高い稼働率
    半導体リソグラフィKrF光源として、900台以上の実績を誇るG41Kの信頼性をそのままに、99 %以上の高稼働を実現します。
  3. 長寿命
    半導体製造光源で培った生産性に耐えうるモジュール寿命をそのままに、長いメンテナンスサイクルを保有することで、お客様の歩留まり向上とメンテナンスコストの削減をサポートします。

主仕様*
発振波長 248 nm
平均出力 75W 300W
パルスエネルギー 75mJ 75mJ
発振周波数 1000Hz 4000Hz
用途 次世代微細アブレーション加工
(*) 各仕様値は代表値です