保守

ギガフォトンは次の3項目に重点をおいたカスタマーサポート活動を推進しています。

1. 定期予防保全活動強化

装置の「安定稼働」には、装置稼働状況を日常的に監視・診断することで、トラブルの兆候を事前に察知し、突発装置ダウンを未然に防ぐ、定期予防保全活動がきわめて重要です。

  • ギガフォトンは、お客様の装置稼働状況を日々モニタリングし、その情報を元にレーザ稼動状況を分析後、定期的に診断レポートとしてお客様に提供しています。
  • このレポートは、突発的な装置ダウンを未然に防ぐ目的だけでなく、レーザ稼動の最適化に関するご提案によって、お客様の生産性向上に活用することができます。

 

また、2001年より予防保全活動推進の一環として、レーザ遠隔診断ツール「REDeeM」(Remote Equipment Data Management)を開発し、今日までに多くのお客様が導入されています。インターネットを利用した「REDeeM」は、お客様とのレーザ稼働情報の共有化をリアルタイムで可能とし、予防保全やトラブル対応の迅速化に効果を上げています。

また、2018年には、ギガフォトンのレーザだけでなく、他社の半導体製造装置の稼働モニタリングと解析を行うことができるオープン・プラットフォーム「FABSCAPE™」をリリースし、お客様の生産性に関する様々な課題の解決に貢献しています。

2. サービス能力の向上

ギガフォトンでは、稼働率向上のために、トラブル時のダウンタイムを極限まで短縮することを目標としています。この目標達成に向けて、トラブルシューティング時間及び部品交換時間を短縮するために、エンジニアの技能も含めた総合的なサービス技術力の一層の向上に取り組んでいます。

  • ギガフォトンは、全世界のサービス拠点でレーザ技術情報のみならず、サポート技術情報を、ネットワークを介して共有しています。これにより、システマチックな技術情報の蓄積や、最新技術情報の全世界展開を容易に行える体制を整えています。
  • エンジニアのトレーニングに関しては、最新のArF、KrFレーザのコースだけでなく、旧機種レーザ、トラブルシュート、お客様向けトレーニング等の幅広いコースを用意しています。

 

3. 部品供給の迅速化・最適化

お客様の部品交換要求や、トラブル時の部品交換に迅速に対応するために、さらには全世界の部品在庫の最適化を目的としたシステムを構築し導入しています。

  • REDeeMを活用し、お客様の稼働状況とモジュール寿命から全世界の交換時期を予測します。これにより、部品供給の長期的トレンドを予測し、最適な生産体制を構築しています。
  • 各拠点での具体的な交換計画や在庫状況はインターネットを利用したシステムでリアルタイムに更新され、小山本社で把握することができます。これにより、タイムリーな部品供給を実施しています。