ギガフォトンでは、前身のコマツ時代の1998年からインターネットを用いたOpen-net diagnostics tool 遠隔診断装置の開発に着手しました。このシステムはREDeeMとして、2001年の春に完成し、多くの大手半導体メーカーが導入しています。

ギガフォトンレーザは99.7 ％＋という非常に高い稼働率を達成しています。しかし、ダウンタイムを更に短く、問題が起きた時に短時間で修理し復帰したい、というお客様からの要求は常 にあります。REDeeMは、これらの要求に対するPM(preventive maintenance:予防保全)や事故の診断に能力を発揮し、極めて有効なサービスツールです。

REDeeMには、以下の2つの機能があります。

• Online PM Report:レーザチャンバ等の主要コンポーネントの中長期稼動状況がほぼリアルタイムで把握できるので、予防保全に効果があります。




• Event trigger report: 問題が発生した場合即座にユーザー、FSEにメールされることで、ダウン後のレスポンスが迅速化されます。

REDeeMの導入効果

• フィールドサービスのレスポンスが向上
  REDeeMを導入したお客様では、半導体メーカー、露光機メーカー及びギガフォトンのFSE、開発エンジニアが、迅速に同一の情報を共有できることにより、迅速なサービスレスポンスが可能となりました。
• 装置管理負荷の大幅な軽減
  設置台数の多いお客様においては、レーザ稼働状況をweb上で集中管理できるため、エンジニアにかかる管理負担が軽減されます。
• ランニングコストの低減
  装置管理が容易になることによって、複数装置の最適な運転管理が容易に可能となり、結果として、多くのお客様においてレーザランニングコストの低減が実現されています。