ディスプレイパネルのレーザアニール

液晶ディスプレイの表示原理

 

液晶ディスプレイは、縦横に並んだ画素が集まり、1つの画像が描かれています。画像を1秒間に何度も書き換える事により動画になります。
画像の書き換えはサブ画素にあるTFTのOn/Offを繰り返して行います。

  • TFTの切り替え速度が速いほど動きの早い動画に対応できます
  • 画素が小さく多くなるほど高精細な画像になります。

 

レーザアニールの効果

 

画素駆動用のTFTに従来使用される アモルファスシリコン(a-Si)には、電気を通し難い性質がありますが、レーザを照射してa-Siをアニールするとシリコンが溶融・再結晶化(多結晶化)し、電気を通しやすいポリシリコン(p-Si)になります。レーザアニールにより、TFTの電気特性の向上が可能になるということです。かつてはa-Siを炉で高温加熱してp-Si化を行っていましたが、TFT以外にも熱の影響を受けることや、加熱に要する時間が掛かる等の課題がありました。レーザアニールは、照射部を急速に加熱・冷却することができるため、炉による高温加熱のにあった課題を解決しました。

 

レーザアニール方式の特徴

 

テレビの画面サイズの大型化にともない、量産されるディスプレイ基板のサイズも大型化しています。従来のレーザアニール方式は、レンズサイズの制約上、アニールが可能なディスプレイ基板のサイズに制限がありました。ギガフォトンはディスプレイサイズに制限のないアニール技術を目指して、アニール装置メーカと共同開発を実施しています。