역사

기가포톤 주식회사는 2000 년에 설립된 비교적 젊은 회사입니다만, 코마츠가 육성해 온 레이저 제품 기술 개발에 대한 다년간의 경험과 실적을 계승하고 있습니다.

코마츠의 레이저 기술 역사는 엔진의 연소 진단에 CARS (Coherent Anti-Stokes RamanSpectroscopy: 색소 레이저=Dye Laser) 를 이용한 시스템을 출시한 1980 년까지 거슬러 올라갑니다. 이후 코마츠는 엑시머 레이저 연구 개발로 이행하여, 1985 년에는 일본 최초의 엑시머 레이저 장치인 KLE-630 을 출시하고, 1987 년에는 세계 최초의 노광용 엑시머 레이저 KLE-630S 를 출시했습니다.

1984 년 도쿄 대학 물성 연구소와 코마츠가 KrF, 90Hz 엑시머 레이저를 공동 개발

1984 년 도쿄 대학 물성 연구소와 코마츠가 KrF, 90Hz 엑시머 레이저를 공동 개발
(출처: 일본 공업 신문)

코마츠는 1996 년에 엑시머 레이저 사업부를 발족한 후, 1997 년에는 토치기현 오야마시에 엑시머 레이저 생산 공장을 설립. 같은 해에 양산형 1kHz KrF 엑시머 레이저 KLES-G10K (현 G10K 시리즈) 를 출시했습니다. 1998 년에는 2kHz KrF 엑시머 레이저 G20K 시리즈를 출시하여 일본ㆍ아시아 지역을 중심으로 순조롭게 점유율을 높였습니다

2000 년에 기가포톤 주식회사를 설립하고, 2001 년에 4kHz ArF 엑시머 레이저 G40A 시리즈, 2002 년에 4kHz KrF 엑시머 레이저 G40K 시리즈를 출시했습니다.

2004 년 말에는 액침 ArF 노광에 대응하는 인젝션 락 방식의 ArF 엑시머 레이저 GT40A 를 출시하고, 2005 년에는 발진 주파수가 1.5 배인 6,000Hz 의 GT60A, 2006 년에는 스펙트럼 폭 및 운용 비용을 대폭 개선한 GT61A, 2007 년에는 액침 2 중 노광에 대응한 90W 출력의 GT62A 등 신제품을 잇따라 출시하고 있습니다.

차세대 리소그래피 광원으로 기대되는 EUV 광원 개발에서는 ‘기술연구조합 극자외선 노광 시스템 기술개발기구 (Extreme Ultraviolet Lithography System Development Association; EUVA)’에 참여하여 LPP 방식의 기술 발전에 크게 공헌했습니다.

엑시머 레이저 기술의 역사와 기가포톤의 연혁 (연표)


  • 세계 최초로 엑시머 레이저 발진에 성공 (소련)

  • 코마츠, CARS(Coherent Anti-Stokes Raman Spectroscopy) 를 응용한 엔진 연소 진단 시스템 출시

  • 코마츠, KrF 엑시머 레이저 KLE-630(일본 최초의 엑시머 레이저 장치) 출시

  • 코마츠, KLE-630S(2W): 세계 최초의 노광용 KrF 엑시머 레이저 출시

  • Lambda Physik 사가 노광용 엑시머 레이저 시장에 참여

  • Cymer 사가 노광용 엑시머 레이저 시장에 참여

  • 코마츠, 엑시머 레이저 사업부 발족

  • 코마츠, 엑시머 레이저 생산 공장을 오야마에 설립

  • 기가포톤 주식회사 설립

  • 기가포톤, 미국 자회사 ‘GIGAPHOTON USA INC.’를 설립

  • 기가포톤, 제1회 레이저 학회 산업상의 시스템 부문에서 인젝션 락 ArF 엑시머 레이저 GT62A 가 ‘우수상’ 수상

  • 기가포톤, EUV 광원으로 출력 100W 초과를 달성

  • 기가포톤, 100% 출자 네덜란드 현지 법인 ‘GIGAPHOTON EUROPE B.V.’의 사업 활동을 개시

    기가포톤, 노광용 엑시머 레이저 누계 1,000대 출하를 달성

  • 기가포톤, 100% 출자 한국 현지 법인 ‘GIGAPHOTON KOREA INC.’의 사업 활동을 개시

    기가포톤, 100% 출자 대만 현지 법인 ‘GIGAPHOTON TAIWAN INC.’의 사업 활동을 개시

  • 기가포톤, 싱가포르 지점을 설립, 사업 개시