기가포톤, 2020년 신형 레이저 도입을 발표

2020년 2월 21일

테크놀로지 시프트를 가속시키는 신기술을 탑재

토치기현 오야마시; 2020년 2월 21일 —반도체 리소그래피 광원 제조업체인 기가포톤 주식회사(본사: 토치기현 오야마시, 대표이사 사장: 우라나카 카츠미)는 2020년 신기술을 채택한 최신 반도체 제조 리소그래피용 광원, ArF 액침용 레이저 ‘GT66A’와 KrF 레이저 ‘G60K’의 2기종을 신제품으로 라인업한다고 발표했습니다.

최근 IoT 보급과 AI의 실용화로 반도체 용도가 확대됨에 따라 반도체 칩에는 통신 속도의 고속화와 더 많은 양의 데이터 처리가 요구되고 있습니다. 특히 2020년에는 5G(제5세대 이동 통신)의 일반용 서비스가 확대되고, 서브10 회로 선폭으로 소형ㆍ고속ㆍ저소비 전력의 논리 IC 및 폭발적으로 증가하는 데이터를 저장할 대용량 메모리 칩이 필요하게 됩니다.
신형 ArF 액침용 레이저 ‘GT66A’는 새로 개발된 광학 모듈을 탑재하여 공간적인 코히런스를 저감하여 노광면에서의 빔 균일성을 개선하는 데 성공했습니다. 신형 KrF용 레이저 ‘G60K’는 약 15년 만에 풀 모델 체인지가 이루어지고 신형 전원 유닛을 도입하여 기존 대비 1.5배의 출력이 가능해졌습니다. 이러한 신기술을 통해 기가포톤은 칩 제조업체를 지원합니다.

기가포톤 대표이사 사장 겸 CEO인 우라나카 카츠미 씨는 이렇게 말하고 있습니다. ‘IoT를 도입한 산업 기기와 가전 제품의 보급, 나아가서는 AI와 5G가 가세하여 공장, 의료, 자동차, 사회 인프라 등의 다양한 장면에서 실시간화와 스마트화가 동시에 진행되고 있습니다. 우리는 신기술을 탑재한 신제품 라인업으로 차세대 산업계 발전에 공헌해 나가겠습니다.’

 

기가포톤(Gigaphoton) 개요

기가포톤은 2000년 설립 이래 레이저 공급업체로서 반도체 제조사에 가치 있는 솔루션을 제공해왔다. 기가포톤은 초기 연구개발 단계부터 제조, 판매, 보수서비스에 이르기까지 사용자의 시각을 반영한 세계최고수준의 지원을 제공하고자 최선을 다하고 있다. 자세한 사항은 웹사이트(www.gigaphoton.com)에서 확인할 수 있다.

 
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