기가포톤, 최신 모델 KrF 광원 ‘G60K’를 출하

15년 만의 풀 모델 체인지를 통해 1.5배의 고출력을 실현

토치기현 오야마시; 2020년 11월 2일, 반도체 리소그래피용 광원 제조업체인 기가포톤 주식회사(본사: 토치기현 오야마시, 대표이사 사장: 우라나카 카츠미)는 신형 KrF용 광원 ‘G60K’를 10월 29일에 출하했다고 발표했습니다.

신형 KrF용 광원 ‘G60K’는 약 15년 만에 풀 모델 체인지와 신형 전원 유닛을 도입하여 기존 대비 1.5배인 60W 출력이 가능해졌습니다. 또한 바디는 확장성을 두루 갖춘 신형 플랫폼을 채용하여 고주파수화 등 향후 KrF 광원의 성능 향상에도 대응합니다.

기존 KrF용 광원은 고출력 시 스루풋은 올라가지만, 모듈 교환 증가로 인해 다운 타임이 늘어나 가용성이 저하되는 딜레마가 있었습니다. ‘G60K’는 이 신기술을 통해 다운 타임을 늘리지 않으면서 고출력ㆍ고가용성을 양립하는 데 성공했습니다. 또한 고선량 레이어의 최대 스루풋 실현도 가능합니다.

기가포톤 대표이사 사장 겸 CEO 우라나카 카츠미 씨는 이렇게 말하고 있습니다. “기가포톤의 KrF 광원은 우리의 기술과 경험이 응축된 제품으로 고객에게 오랫동안 높은 평가를 받고 있습니다. 금번 15년 만에 풀 모델 체인지한 G60K는 현장에서 높은 가동을 실현하여 고객의 생산성을 한층 더 높여주리라 확신합니다. 기가포톤은 앞으로도 생산성을 최대화하는 제품과 서비스를 제공해 나가겠습니다.”

기가포톤(Gigaphoton) 개요

기가포톤은 2000년 설립 이래 레이저 공급업체로서 반도체 제조사에 가치 있는 솔루션을 제공해왔다. 기가포톤은 초기 연구개발 단계부터 제조, 판매, 보수서비스에 이르기까지 사용자의 시각을 반영한 세계최고수준의 지원을 제공하고자 최선을 다하고 있다. 자세한 사항은 웹사이트(www.gigaphoton.com)에서 확인할 수 있다.。

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기가포톤주식회사
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