G41A

100nm 노드에 대응하는 4kHz ArF 엑시머 레이저

GT41A

주요 특징

  • 새로 설계한 고체 펄스 전원을 통해 주파수 4000Hz로 발진할 수 있으며, 20W의 고처리율을 실현
  • 기가포톤 KrF 레이저(G10K 시리즈, G20K 시리즈)의 고신뢰성 설계를 적용

주 사양*

발진 파장 193 nm
평균 출력 20 W
펄스 에너지 5.0 mj
발진 주파수 4,000 Hz
스펙트럼 선폭 (FWHM) 0.35 pm
스펙트럼 폭 (95% 에너지 적산, E95) 0.85 pm
(*) 각 사양값은 대표값입니다