G42A

80nm 노드에 대응하는 4kHz ArF 엑시머 레이저

GT41A

주요 특징

  • G41A를 바탕으로 스펙트럼 폭(반값 전폭)을 G41A의 0.35pm에서 0.3pm으로 개량하여 80nm 설계 규칙에 대한 대응을 가능하게 했습니다
  • 각 모듈에 고내구성 부품을 채용하여 수명을 늘려 CoO를 대폭 경감
  • 레이저 체임버: 전극에 고내구성 부품을 채용
  • 협대역화 모듈, 모니터 모듈 등: 광학 부품에 고내구성 재료를 채용

주 사양*

발진 파장 193 nm
평균 출력 20 W
펄스 에너지 5.0 mj
발진 주파수 4,000 Hz
스펙트럼 선폭 (FWHM) 0.3 pm
스펙트럼 폭 (95% 에너지 적산, E95) 0.75 pm
(*) 각 사양값은 대표값입니다